[原创]硕士论文:薄膜型压电微电机的有限元模拟

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<><STRONG><FONT color=#cc0000 size=3>薄膜型压电微电机的有限元模拟</FONT></STRONG></P>
- \0 v0 I% j) a6 m* D% V) H3 N<>压电微电机是利用压电材料的逆压电效应,将材料的微观变形通过共振放大和摩擦耦合转换成转子或滑块的宏观运动的一种微电机。它能作为直接驱动微型机械的电机,来简化系统传动链和缩小尺寸。压电微电机潜在的应用前景是非常吸引人的。本文从压电微电机的国内外发展概况,到压电薄膜材料的特性和应用,一步一步展开,最后进行微电机的有限元模拟。具体通过选取微电机中较典型的柱状薄膜压电微电机来深入探讨。柱状薄膜压电微电机是基于动力学特性设计出来的。文章从柱状微电机的独特结构出发,对微电机的工作原理进行了研究,分析了该微电机的运行机理。 </P>
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博士

敬佩

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