GaN/Al2O3上Ge薄膜的CVD外延生长

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　　摘　要：本工作采用化学气相淀积方法,以GcH4为反应气源,以InN/CaN/Al2O3（0001）复合衬底作陪片,在CaN/Al2O3（0001）复合衬底上外延生长了Ge薄膜,并对生长机理进行了探讨.研究结果表明:直接在N2气氛下外延得到了多晶Ge薄膜,表面较平整,由吸收光谱得出其带隙宽度为0.78 eV;经过H2预处理,CaN/Al2O3复合衬底表面出现金属In的沉积,外延Ge薄膜沿（111）方向择优生长,晶体质量较高.
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　　关键词：化学气相淀积;Ge薄膜;GaN;金属In

9 |6 R% S. A( s  ^, f" | 　　分类号：TN304.055　文献标识码：A
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- Q! _) Q* ?( f3 v 　　文章编号：1672-7126（2008）增刊-009-04
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　　Chemical Vapor Deposition of Ge on GaN/Al2O3（0001） Substrates

% Z  D$ f" [# D3 @ 　　Wang Ronghua　 Han Ping　 Cao Liang　 Mei Qin　 Wu Jun　 Ge Ruiping　 Xie Zili　 Chen Peng　 Lu Hai　 Gu Shulin　 Zhang Rong　 Zheng Youliao
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　　基金项目：国家重点基础研究发展规划（No.2006CB604900）;国家高技术研究发展规划（No.2006AA03A103,2006AA03A142）;国家自然科学基金（No.60421003）;高等学校博士学科点专项科研基金（No.20050284004）和单片集成电路与模块国家级重点实验室2006年度基金（No.9140C1404010605）

　　作者简介：韩平,联系人:E-mail:hanping@nju.edu.cn
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　　作者单位：王荣华（南京大学物理学系江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京,210093）
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( e- F+ e# R" c1 c1 U" V 　　韩平（南京大学物理学系江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京,210093）

' Q& k0 N0 G( \ 　　曹亮（南京大学物理学系江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京,210093）
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1 P" ?( M4 Z9 n3 D 　　梅琴（南京大学物理学系江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京,210093）

/ W$ T$ _* Q1 w 　　吴军（南京大学物理学系江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京,210093）
3 A. g, s  g: c) A* i
　　葛瑞萍（南京大学物理学系江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京,210093）
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　　谢自力（南京大学物理学系江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京,210093）
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) l2 v" _! b/ Y: |& O! i. S 　　陈鹏（南京大学物理学系江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京,210093）

　　陆海（南京大学物理学系江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京,210093）

. Y3 T# i% y1 {- i7 o 　　顾书林（南京大学物理学系江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京,210093）
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　　张荣（南京大学物理学系江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京,210093）
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　　郑有��（南京大学物理学系江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京,210093）
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