薄膜的应力控制技术研究现状

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　　摘　要：薄膜应力普遍存在于薄膜元器件中,从而影响薄膜器件性能,限制了其良好的应用前景.所以控制薄膜的应力,消除其不良影响,是薄膜生产工艺中不可或缺的技术手段.本文对此详细阐述了几种常用的薄膜应力控制方法,并对以后研究工作的开展提出几点要求.
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　　关键词：薄膜;应力;控制技术

! V5 s) }0 L* R' G# ]2 o1 l" c: Y 　　分类号：O484.2　文献标识码：A

　　文章编号：1672-7126（2008）增刊-017-05
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Stress Release and Control of Thin Films materials Used in Devices Fabrication

Jiang Zhao　 Chen Xuekang
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. J- X- W" E8 a- K& P) k+ q3 w0 D 　　蒋钊,联系人:Tel:13893225634;E-mail:qqq-128@163.com
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　　作者单位：蒋钊（兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,兰州,730000）

- u5 U3 A0 l4 p$ ~2 q2 o 　　陈学康（兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,兰州,730000）

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