直线驱动器的工作原理与结构示意图

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　　超高真空直线驱动器的直线驱动和真空密封同样靠波纹管来实现（图1）。波纹管的两端分别和移动法兰与真空法兰焊接。移动法兰在真空一侧和驱动轴连接，另一侧设计成螺纹构造。移动法兰和把手之间的螺纹构造相匹配，旋转把手，则波纹管作直线运动，从而带动驱动轴的直线运动。真空法兰内部安装直线轴承，可实现驱动轴的运动准直性。直线驱动器的外筒上带有刻度，通过把手的位置可知驱动轴的行程。
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" ^2 z/ \3 {# `; x' {图1 直线驱动器的示意图

　　直线驱动器精度高，重复性强，可和直流或步进电机组合，实现电控操作。