直线推动驱动器的工作原理与结构示意图

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　　直线推动驱动器主要由外筒、真空法兰、移动法兰、波纹管、推动杆、驱动轴等组成。外筒内部的波纹管分别和真空法兰以及移动法兰焊接，实现伸缩和真空密封。移动法兰的两端分别与驱动轴和推动杆连接。操纵推动杆，则驱动轴可在真空中直线移动。
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　　真空法兰内侧设置准直部件，确保驱动轴不会摆动。外筒开有长条孔，固定在移动法兰外壁上的指针沿着长条孔移动，达到指示驱动轴移动位置的目的。外筒侧壁设置固定螺丝，可将推动杆固定在任意位置。

　　直线推动驱动器中和真空接触的部件，全部采用不锈钢和无氧铜材料，可耐高温烘烤，适合在超高真空系统中的使用。
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0 O( P1 `+ J) V. w　　直线推动驱动器的示意图参照图1。
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图1 直线推动驱动器的示意图