直线推动驱动器的工作原理与结构示意图

bomoaa

　　直线推动驱动器主要由外筒、真空法兰、移动法兰、波纹管、推动杆、驱动轴等组成。外筒内部的波纹管分别和真空法兰以及移动法兰焊接，实现伸缩和真空密封。移动法兰的两端分别与驱动轴和推动杆连接。操纵推动杆，则驱动轴可在真空中直线移动。
& c$ x% I2 m( K2 D$ t9 W
1 |9 w9 c" W  K& `2 [6 I$ M　　真空法兰内侧设置准直部件，确保驱动轴不会摆动。外筒开有长条孔，固定在移动法兰外壁上的指针沿着长条孔移动，达到指示驱动轴移动位置的目的。外筒侧壁设置固定螺丝，可将推动杆固定在任意位置。
0 m  i; P& ^, g5 n& C  v# M
2 P2 s6 `0 \* y3 \; l　　直线推动驱动器中和真空接触的部件，全部采用不锈钢和无氧铜材料，可耐高温烘烤，适合在超高真空系统中的使用。

. J/ r; [; S7 z) }0 b　　直线推动驱动器的示意图参照图1。

8 i! T1 V. h" i. Y  
8 M9 D5 t! @3 d( L
$ L* g5 O  G3 p8 Y图1 直线推动驱动器的示意图