急求，蒸镀ITO工艺问题。

jinyi

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, p' v& A) j  Q- V' Q这几天在搞ITO玻璃，从来没搞过，零件150*58*3，，烘烤300°，先用H4和MGF2镀增透6层，最后一层ITO厚度0.15-0.2，ITO是颗粒状的，蒸发速率1.0，镀完后，300°恒温30分钟，放气，，测量零件对角，电阻降不下来，4000多欧，，要求30欧，，头都搞大了，，望大神指点。感谢。