PVD涂层技术制备类金刚石薄膜及性能研究综述

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PVD涂层技术制备类金刚石薄膜及性能研究综述[color=rgba(0, 0, 0, 0.87)][color=rgb(56, 142, 60) !important]吴雁; 李艳峰; 张而耕; 赵杰， [color=rgb(56, 142, 60) !important]上海应用技术学院， [color=rgb(56, 142, 60) !important]表面技术 [color=rgb(56, 142, 60) !important]2016年 08期 [color=rgb(56, 142, 60) !important]期刊
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...综述了类金刚石涂层的技术发展,以及制备类金刚石薄膜的方法和影响其性能的多种要素。表面涂有类金刚石薄膜的工件具有较高的硬度、良好的热传导率、极低的摩擦系数、优异的电绝缘性能等。类金刚石薄膜(DLC Films)是近年来兴起的一种以sp3和sp2键的形式结合生成的亚稳态材料,因其优异的减摩和抗磨性能,在摩擦学领域获得了广泛应用,是一种与金刚石涂层性能相似的新型薄膜材料。DLC涂层的性能研究大多集中在它的摩擦学特性和结合力性能,并且作为优质的涂层材料已被广泛应用于汽车、模具、刀具...

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