光学薄膜参数测量方法研究

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光学薄膜参数测量方法研究
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作者	李凯朋，王多书，李晨，王济州，董茂进，张玲
单位	兰州空间技术物理研究所 表面工程技术重点实验室
摘要	为了研究准确性和效率更高的膜层光学薄膜参数测量方法，对优化膜系结构和改进制备工艺都有重要的指导作用。论文在研究传统测量方法基础上，将包络线法与全光谱拟合反演法相结合，提出了一种新型的光学薄膜参数测量方法。该方法将采用包络线法计算的单层膜光学薄膜参数近似值作为参考，设置全光谱拟合反演法优化搜索的上下限，结合适当的评价函数构建计算物理模型，并选用综合优化算法求解获得待测膜系各膜层的光学薄膜参数。最后设计 TiO2、SiO2单层膜和膜系为：G|0.5HLHL0.5H|A(H- TiO2，L- SiO2)的多层膜进行测量验证，并分析了该测量方法的效率、准确度、稳定性等。
刊物	红外与激光工程
关键词	光学薄膜 光学薄膜参数 包络线法 全光谱拟合反演法 包络线-全光谱拟合反演法 optical film optical thin film parameters envelope method full spectral fitting inversion method envelope-full spectral fitting inversion method

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