光驰镀膜机镀膜IR产品单圈内部个别片密集型点子异常原因

liujun0527 · 发表于 2018-9-26 01:46:37

各位好：
最近在生产IR产品时，发现有些机台经常出现单圈内部个别片表面密集型点子，现在进行的各种对策均无效果，请求各位的帮助。谢谢！

bomoaa · 发表于 2018-9-27 12:31:18

控制镀膜速率，清洗护板，维护离子源。

liujun0527 · 发表于 2018-9-28 03:24:53

liujun0527 · 发表于 2018-9-28 03:26:10

bomoaa 发表于 2018-9-27 20:31: l% k4 o9 I- e( P) L
控制镀膜速率，清洗护板，维护离子源。

1.速率大小调整没有做过，速率稳定性我们现在控制±5%
2.护板清洁：喷砂/酸洗都试过，更换周期调整
3.离子源：栅网更换，栅网清洁，提前预热离子源
4.材料更换，重新打底料
5.基板清洗后检查
6.机台保养
以上这些都试过了，还是有这种异常

liujun0527 · 发表于 2018-9-28 03:26:15

bomoaa 发表于 2018-9-27 20:31
! R2 c0 `8 p- t控制镀膜速率，清洗护板，维护离子源。

1.速率大小调整没有做过，速率稳定性我们现在控制±5%
2.护板清洁：喷砂/酸洗都试过，更换周期调整
3.离子源：栅网更换，栅网清洁，提前预热离子源
4.材料更换，重新打底料
5.基板清洗后检查
6.机台保养
以上这些都试过了，还是有这种异常

tearzhou · 发表于 2018-9-28 07:45:33

单圈是内圈还是外圈描述能否详细点

tearzhou · 发表于 2018-9-28 07:45:39

单圈是内圈还是外圈描述能否详细点

liujun0527 · 发表于 2018-9-29 00:06:51

tearzhou 发表于 2018-9-28 15:45& I; p$ T0 M( \
单圈是内圈还是外圈描述能否详细点

如图，部分片表面密集区域，打×为异常位置

tearzhou · 发表于 2018-9-29 04:26:05

liujun0527 发表于 2018-9-29 08:06 j/ ^' [/ k/ a/ b g! R5 d
如图，部分片表面密集区域，打×为异常位置

1.建议更换箱门密封圈 2.确认高伐出的playcold是否出现问题

liujun0527 · 发表于 2018-9-29 23:55:17

tearzhou 发表于 2018-9-29 12:26; Y) [4 Z2 _5 Z/ ]2 |& \
1.建议更换箱门密封圈 2.确认高伐出的playcold是否出现问题

好的。谢谢！我们试试。

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