光驰镀膜机镀膜IR产品单圈内部个别片密集型点子异常原因

liujun0527 · 发表于 2018-9-26 09:46:37

各位好：
最近在生产IR产品时，发现有些机台经常出现单圈内部个别片表面密集型点子，现在进行的各种对策均无效果，请求各位的帮助。谢谢！

bomoaa · 发表于 2018-9-27 20:31:18

控制镀膜速率，清洗护板，维护离子源。

liujun0527 · 发表于 2018-9-28 11:24:53

liujun0527 · 发表于 2018-9-28 11:26:10

bomoaa 发表于 2018-9-27 20:31$ }% z& b# ~: D
控制镀膜速率，清洗护板，维护离子源。

1.速率大小调整没有做过，速率稳定性我们现在控制±5%
2.护板清洁：喷砂/酸洗都试过，更换周期调整
3.离子源：栅网更换，栅网清洁，提前预热离子源
4.材料更换，重新打底料
5.基板清洗后检查
6.机台保养
以上这些都试过了，还是有这种异常

liujun0527 · 发表于 2018-9-28 11:26:15

bomoaa 发表于 2018-9-27 20:318 F5 E( W5 D0 p; l0 F# _: W! ` ~( F7 h
控制镀膜速率，清洗护板，维护离子源。

1.速率大小调整没有做过，速率稳定性我们现在控制±5%
2.护板清洁：喷砂/酸洗都试过，更换周期调整
3.离子源：栅网更换，栅网清洁，提前预热离子源
4.材料更换，重新打底料
5.基板清洗后检查
6.机台保养
以上这些都试过了，还是有这种异常

tearzhou · 发表于 2018-9-28 15:45:33

单圈是内圈还是外圈描述能否详细点

tearzhou · 发表于 2018-9-28 15:45:39

单圈是内圈还是外圈描述能否详细点

liujun0527 · 发表于 2018-9-29 08:06:51

tearzhou 发表于 2018-9-28 15:45
- \ W- R) ?! b5 p! {" e单圈是内圈还是外圈描述能否详细点

如图，部分片表面密集区域，打×为异常位置

tearzhou · 发表于 2018-9-29 12:26:05

liujun0527 发表于 2018-9-29 08:06
v6 \8 ~( H" ~1 M# A8 o如图，部分片表面密集区域，打×为异常位置

1.建议更换箱门密封圈 2.确认高伐出的playcold是否出现问题

liujun0527 · 发表于 2018-9-30 07:55:17

tearzhou 发表于 2018-9-29 12:26- [6 T3 r+ N3 t& I
1.建议更换箱门密封圈 2.确认高伐出的playcold是否出现问题

好的。谢谢！我们试试。

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