1. 所谓寿命,实际是频率的换算值- a. y" X2 t: o
2. 活性值,ic系列晶控仪里的参数。跟晶片阻抗有关的一个参数,也与探头及安装有关。+ c6 g! J' r: d P1 u' L/ Y
膜林晶控仪里,有个 损耗值参数,并以颜色进行区分。跟晶片阻抗有关的一个参数,也与探头及安装有关。大致可跟活性值反过来理解。9 E0 M' A# K# Y. t& ~; N" d
晶片损耗大(活性值小),影响到振荡频率稳定性,进而影响速率稳定性以及厚度准确性。平常镀膜时根据经验进行取舍。 / P. u' K5 Z; {9 b6 v" f