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[求助] GE镀膜温度

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发表于 2018-7-21 19:44:55 | 显示全部楼层 |阅读模式
各位薄膜大神,有没有人镀滤光片使用GE(锗)材料的,请问您们的镀膜速率和基片温度是多少啊?有没有相关的文献呢?1 g' Y5 j6 \+ q6 g6 f
发表于 2018-7-27 13:24:36 | 显示全部楼层
200度左右,温度太高会膜层有吸收。
发表于 2018-7-27 17:27:00 | 显示全部楼层
我们一直都在使用这些材料做中远红外滤光片
 楼主| 发表于 2018-8-14 19:29:54 | 显示全部楼层
xiaohuilee 发表于 2018-7-27 17:27/ I9 B1 h$ \7 B6 ]
我们一直都在使用这些材料做中远红外滤光片

6 d# m# L+ C% m, T能介绍点经验吗?
 楼主| 发表于 2018-9-5 11:29:44 | 显示全部楼层
士官长 发表于 2018-7-27 13:24
+ z5 A5 i& N- ^) p3 V# U200度左右,温度太高会膜层有吸收。
: Z6 Z. W$ z' m: [4 N
有没有相关的文献介绍下看看
 楼主| 发表于 2018-9-5 11:29:54 | 显示全部楼层
士官长 发表于 2018-7-27 13:24; S+ \# X7 ?1 I$ h
200度左右,温度太高会膜层有吸收。

+ c, @! a; V* {5 {8 ?3 P7 H* w6 q有没有相关的文献介绍下看看
发表于 2018-9-12 16:01:11 | 显示全部楼层
这个没有   你可以自己查下    设备不同蒸发速率也不一样   我们就用的比较高  15A、S
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