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LiH(LiD,LiT)基软x射线多层膜的设计
: l' ^2 R( g' y: o$ J* g) {3 B摘要:利用Livermore实验室提供的软x射线多层膜设计程序,首次计算了含有U和Li H(Li D、Li T)核材料的软x射线多层膜在不同中心波长处的反射率。设计结果显示,在22.7nm波长处,Li H(Li D、Li T)基多层膜给出了特征反射峰值,说明在大于20nm波段,Li H、Li D和Li T材料是理想的间隔层材料。 ) k, U& l* m q# F
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