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LiH(LiD,LiT)基软x射线多层膜的设计5 p9 Q! {: v4 P( S8 e
摘要:利用Livermore实验室提供的软x射线多层膜设计程序,首次计算了含有U和Li H(Li D、Li T)核材料的软x射线多层膜在不同中心波长处的反射率。设计结果显示,在22.7nm波长处,Li H(Li D、Li T)基多层膜给出了特征反射峰值,说明在大于20nm波段,Li H、Li D和Li T材料是理想的间隔层材料。 ' L, X+ E/ c6 j: w# N; r! j) ?* U
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