高透射深宽截止双通带荧光滤光片设计与PARMS镀制

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高透射深宽截止双通带荧光滤光片设计与PARMS镀制
1 r1 V! L( M2 G+ p( N2 P- }! ?# c) @, m摘要：以Nb2O5和SiO2为光学镀膜材料设计了可见光区双通带BP561nm&BP687nm超多层膜系干涉滤光片。采用直接光控和速率控制混合的膜厚监控方案,制造工艺采用OMS Simulator设计并模拟镀膜过程,模拟膜厚误差优于±0.1%,并在PARMS镀膜机上进行镀制。制造光谱结果:双通带滤光片波长定位精度均小于±2nm,峰值透过率高于95%,截止区300-950nm背景优于OD6,完全满足荧光检测的成像需求。

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