真空镀膜设备节能改造方案

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真空镀膜设备节能改造方案

一、概述

扩散泵作为真空系统的主泵已经有几十年的历史，传统的真空镀膜设备扩散泵加热是用耗电量比较高的电阻丝通过烧红来烘烤真空锅炉（扩散泵）底部，从而加热里面的导热油来使真空泵里面的温度上升来达到设备的工作要求。这种加热方式使得大部分的热量散发到空气中，导致损失大量的热量，使得工作环境温度变高。虽然制作成本低廉，但存在着：加热速度慢、容易断丝、加热效能低下，能耗量大等诸多缺点。还有导线接入区域温度过高触电区域极易氧化虚接以及人身触电的的危险。而目前采用电磁加热方式最为科学，它可以大大改变这种现象。本公司根据扩散泵的特性要求，研发出一种高效节能的变频电磁加热技术，热效率达95%以上。电磁加热是由高电流通过高效线盘，产生无数电磁涡流，涡流通过带磁的金属，使得金属器皿自行发热，从而达到加热目的。电磁加热优势在于：速度快、效率高、工作稳定、安装和改造简单（只需要将原电炉盘的三相电源线接入即可）、操作方便。

镀膜扩散泵节能改造
电炉丝改装为线盘加热，节能省电30%以上，一般二至三个月，节省下来的电费可收回安装成本，具有加热快，减少开机预热时间，同时可降低工作环境的温度等优点。

二、   节能改造的必要性

电磁加热的原理是通过电子线路板组成部分产生交变磁场、当用含铁质容器放置上面时，容器表面具即切割交变磁力线而在容器底部金属部分产生交变的电流（即涡流），涡流使容器底部的铁原子高速无规则运动，原子互相碰撞、摩擦而产生热能。从而起到加热物品的效果

在常温下一台直径830mm扩散泵用传统15kw电阻丝需费时70-90分钟，温升220度且不能再升温，而用15kw电磁加热线盘只需20分钟内可温升达到260度，大大缩短预热时间，提高了生产效率，且用电磁加热方式，温度达到后设备会处于一种保温（间断工作）工作方式，使得设备节省大量的电量。在设备停机时，如果采用电阻丝加热方式的，冷却泵还要工作很长的一段时间才能停，因为用电阻丝制成的电炉在设备停机后还储存大量的热量（浪费的）。而电磁加热用的线盘是没有热量的（可以用手去触摸），设备停机后，很快就可以把冷却泵停掉。从而也节省了冷却泵的用电量。由此可见电磁加热比传统电阻丝加热至少节能30%-50%以上。

三、工程案例：

+ W  z* R& T, B/ g8 ?设备在现场使用了两年的情况

深圳宾德工艺厂应用现场

南京丹阳汽车配件厂（广东中环设备配套）

              东莞勤兆光电科技公司的新购机改造现场

                 东莞兴科集团旧机改为电磁加热

振华公司的新设备改为电磁加热方式

四．             综合效益

1、Ø1000的扩散泵直观节能效果：

Ø1000的扩散泵(20KW)每天用电量:

＝设备每小时用电量×每日工作时间

＝20千瓦×1千瓦时×24小时

＝480度

改造后按节电率＝  30%计算，电费按 1.0元/度来计算:

每月节省电费:480×1.0×30×30%=￥4320元

注:30%是本公司承诺的最低节电率,实际节电效果以改造后的数据为准。

2、隐含效益

①、同等条件下,预热时间缩短了2/3,提高了生产效率。

②、加热线盘本身不发热,基本上没有热量散发到空气中,大大降低了工作环境温度。劳动环境因此得到了明显改善。

③、拆除了电阻式加热盘, 为企业电阻加热盘的维修和定期更换节省了一笔费用支出.

④、设备停机后,设备冷却时间缩短了1/2,节省了冷却设备的用电量。

五、售后服务

公司承诺：免费质保期12个月，质保期内因产品本身引起的任何质量问题，均可得到及时维修及更换，保修期外提供终身技术维修服务。

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