二氧化硅如果再镀膜过程中，放气量大了怎么办？

jsats0523 · 发表于 2017-8-22 17:55:28

二氧化硅如果再镀膜过程中，放气量大了怎么办？重新换了二氧化硅，还会出现这个问题?

zkyioe · 发表于 2017-8-23 21:40:51

放气量大你根据真空判断的？你充氧没？如对薄膜没有影响，可以不管，实在不行加长预熔时间看看。

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