善思路, l; S: \! I% q" `
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9 N+ n7 G% N- i9 Y1 x- m8 T膜料点不良也是镀膜产品的一个常见问题,在日企、台企把膜料点称为“斑孔”,顾名思义,膜料点就是蒸镀中,大颗粒膜料点随着膜料蒸汽分子一起蒸镀到了基片的表面,在基片表面形成点状的突起,有时是个别点,严重时是成片的细点,大颗粒点甚至可以打伤基片表面。 ( i, M7 G$ B0 f/ S3 a
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各种膜料的蒸发特性是不一样的,特别是熔点温度和蒸发温度有很大差异 ' w/ ^4 N8 k0 r0 S% M6 w
熔点温度大于蒸发温度的材料,由固态直接气化蒸发,是升华材料;
% o- V" x% u# _( V# h熔点温度小于蒸发温度的材料,由固态先化成液态尔后在转换成气态蒸发,是非升华材料;
8 _: b- R! I. P熔点温度与蒸发温度相当的材料,由固态到气态蒸发,边融化边蒸发。是半升华材料。
1 m7 v4 b. G2 N) V/ m4 I其中非升华材料最容易产生膜料点,因为液态的膜料继续加热会沸腾,沸腾中膜料中的气泡溢出,飞溅膜料点的可能性加大。有时在材料预熔时就有很大的飞溅。 " G& d l! Y4 m* ]" [
膜料受潮,预熔或蒸镀时水汽逸出,也会造成飞溅产生。
+ E0 y4 ~8 x- s6 E- T$ X+ L: B下表是几种常用膜料的升华特性 . z* c' c6 Y5 O9 u. ?
膜料不纯、膜料参杂,即膜料中有了熔点温度、蒸发温度不一致的材料,这也是膜料点产生的原因。. ~) }" V: Y% } Q
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改善思路:选用好的膜料、充分预溶、控制速率。
5 |) {5 ^9 e8 t3 n0 g3 ~改善对策:
! l! _& P6 r a$ o/ d4 ~8 d㈠ 选择杂质少的膜料
H" l% G; ~- `6 b7 E( a2 q" \* m㈡ 对易飞溅的膜料选择颗粒合适的膜料 . V9 o3 E+ R X- R4 z* `
㈢ 膜料在镀前用网筛筛一下 8 \" P, T5 G' G/ W6 _$ m! M
㈣ 精心预熔,MgF2务必熔透一次蒸镀所需膜料,而Ta2O5 和TiO2必须彻底熔透。
- f: R1 ^+ E' E㈤ 用一把电子枪镀制几种膜料时,防治坩埚转动中膜料参杂及挡板掉下 膜料渣造成膜料污染。一旦发现坩埚膜料有污染,应立即更换。
+ a0 D2 S! J4 V+ j; k& P㈥ 尽最大可能使蒸发舟、坩埚干净。(勤打扫)。
" D& i* f. C, t: O) B# ]! ^㈦ 选择合适的蒸发速率及速率曲线的平滑。特别是非升华材料,蒸发速率不宜高。 - g: U' K7 b3 N* m/ ~: k; J
㈧ 膜料去潮,将待用膜料用培养皿盛放在真空室干燥
- |3 i+ d- |9 @* B注意:有时膜层内有一些细小的点子,有可能不是膜料点,而是灰尘点,处理的方法与膜料点不良是不同的,应严格区分,分别处理。 : T& D, Z: T$ W6 D7 a! A- j% J7 p
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