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光 学薄膜 弱吸收测试装置参数优化& [4 N0 M; ]$ @* v+ l
黄 祖 鑫 。 , 赵 建 林 , 胡 晓 阳 , 彭 勇6 p% k ]+ y7 f9 I3 L, Y
(1. 西北工业大学 理学院 , 陕西 西安 710072;
. \) E& z0 E1 W/ {2. 中国工程物理研 究院应 用, E f t-学研 究所 , 四川 绵阳 621900) o1 E1 L' ?3 I, n+ T7 m0 i, y- @
摘 要 :光学薄膜对入射光的弱吸收特性是评价元件质量的重要参数 。 在高能激光作用下 , 即使十分
$ R5 R/ {6 H& w" c) F; V7 v微弱的吸收也将足 以导致薄膜元件的灾难性破坏。 因此 , 有必要对光学薄膜的平均吸收及局部吸收进
+ e. m# j8 E [* \行精 确 、快速 、实时 的检 测 。从 光热偏 转技 术 发展 而 来的表 面 热透镜 法 由于其 对 测试 装置要 求的放
9 C0 I5 l+ G$ f宽,并且同样拥有较高的测试精度,是测试元件薄膜弱吸收特性的有效方法之一。通过建立实验系
" p) z% A0 f( ~* O r统 , 测试并确定了各个装置参数在 不同设置情况下弱吸收信号的稳定性及强度 , 从而为测试装置的固2 l2 F& A: g' N6 F3 y
化提 供 了关键 的布局 数 据 , 并在 此 实验 系统上 开展 了初 步 的弱 吸收 测试 实验 。( k ]5 e) Y: l9 l- M# m
关键词 :光学薄膜 ; 弱吸收 ; 表面热透镜 法; 优化
* G' \* J" E! d% N' z% u7 Z中图分 类号 :TN 247 文献标 志 码 :A 文章编 号 : 1007— 2276(20l1)09—1779— 0% j7 i7 x! e2 h+ R
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