利用TFC求N、K值时，膜层厚度如何测啊，需要填写膜层的厚度啊

sdpl1122 · 发表于 2014-10-29 15:56:54

bomoaa · 发表于 2014-10-29 19:28:51

粗略的话根据晶控厚度给个厚度就可以了，软件可以优化计算。
精确的话用椭偏仪，台阶仪等仪器测量。

sdpl1122 · 发表于 2014-10-30 16:55:00

bomoaa 发表于 2014-10-29 19:28- L/ @+ p2 d8 w9 G3 [& C9 h
粗略的话根据晶控厚度给个厚度就可以了，软件可以优化计算。
5 @0 ?9 X. K/ Q$ A$ f/ W) z! b精确的话用椭偏仪，台阶仪等仪器测量。

谢谢！

jixingyilai · 发表于 2014-11-1 13:54:52

把你测得的曲线导入tfc，优化就可以得到厚度

sdpl1122 · 发表于 2014-11-10 21:58:44

jixingyilai 发表于 2014-11-1 13:54+ T4 H; o& K# g6 J' W9 [% N8 w: ]
把你测得的曲线导入tfc，优化就可以得到厚度

能具体说说不

bomoaa · 发表于 2014-11-10 23:08:25

应该把测得的曲线数值作为优化目标，进行优化计算的

jixingyilai · 发表于 2014-11-13 22:47:41

sdpl1122 发表于 2014-11-10 21:58' C( D9 j( \+ g9 i8 n" ?: E
能具体说说不

把你测得的数据存为txt格式的文档，让后作为离散目标导入TFC中，然后优化，就得到厚度了

jixingyilai · 发表于 2014-11-13 22:47:48

sdpl1122 发表于 2014-11-10 21:58
! F4 n7 V! k: X能具体说说不

把你测得的数据存为txt格式的文档，让后作为离散目标导入TFC中，然后优化，就得到厚度了

jixingyilai · 发表于 2014-11-13 22:47:49

sdpl1122 发表于 2014-11-10 21:58% [+ K( M( j; @2 w+ \( _! T
能具体说说不

把你测得的数据存为txt格式的文档，让后作为离散目标导入TFC中，然后优化，就得到厚度了

jixingyilai · 发表于 2014-11-13 22:47:49

sdpl1122 发表于 2014-11-10 21:58* a' r/ y# {/ P; p; o
能具体说说不

把你测得的数据存为txt格式的文档，让后作为离散目标导入TFC中，然后优化，就得到厚度了

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