利用TFC求N、K值时，膜层厚度如何测啊，需要填写膜层的厚度啊

sdpl1122 · 发表于 2014-10-29 07:56:54

bomoaa · 发表于 2014-10-29 11:28:51

粗略的话根据晶控厚度给个厚度就可以了，软件可以优化计算。
精确的话用椭偏仪，台阶仪等仪器测量。

sdpl1122 · 发表于 2014-10-30 08:55:00

bomoaa 发表于 2014-10-29 19:28 A( ^1 s( U, K0 }# \0 _4 S1 F( l
粗略的话根据晶控厚度给个厚度就可以了，软件可以优化计算。
" k: c, {. y. r8 v精确的话用椭偏仪，台阶仪等仪器测量。

谢谢！

jixingyilai · 发表于 2014-11-1 05:54:52

把你测得的曲线导入tfc，优化就可以得到厚度

sdpl1122 · 发表于 2014-11-10 13:58:44

jixingyilai 发表于 2014-11-1 13:54
* ^$ y; U0 s( U. d+ d* {把你测得的曲线导入tfc，优化就可以得到厚度

能具体说说不

bomoaa · 发表于 2014-11-10 15:08:25

应该把测得的曲线数值作为优化目标，进行优化计算的

jixingyilai · 发表于 2014-11-13 14:47:41

sdpl1122 发表于 2014-11-10 21:58" `% c+ C, V/ U9 ~7 A& U* ?
能具体说说不

把你测得的数据存为txt格式的文档，让后作为离散目标导入TFC中，然后优化，就得到厚度了

jixingyilai · 发表于 2014-11-13 14:47:48

sdpl1122 发表于 2014-11-10 21:58
+ \! A2 Y# v* m, S能具体说说不

把你测得的数据存为txt格式的文档，让后作为离散目标导入TFC中，然后优化，就得到厚度了

jixingyilai · 发表于 2014-11-13 14:47:49

sdpl1122 发表于 2014-11-10 21:585 l0 D. i3 g! H* S( S0 L
能具体说说不

把你测得的数据存为txt格式的文档，让后作为离散目标导入TFC中，然后优化，就得到厚度了

jixingyilai · 发表于 2014-11-13 14:47:49

sdpl1122 发表于 2014-11-10 21:58) O9 }) w: v) O
能具体说说不

把你测得的数据存为txt格式的文档，让后作为离散目标导入TFC中，然后优化，就得到厚度了

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