扩散泵的工作原理

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扩散泵的工作原理

    扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。
* J0 O2 k: u5 u高真空泵扩散泵主要结构有泵体、冷却帽、喷嘴、蒸气导流管、加热器和冷却器等。

/ u4 c: p6 |' }, x/ i" J    扩散泵中的油在真空中加热到沸腾温度（约为200度）产生大量的油蒸气，油蒸气经导流管由各级喷嘴定向高速喷出。由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压强高于蒸气流中该气体的分压强。这样，被抽气体分子沿着蒸气方向高速运动，气体分子碰到泵壁又反射回来，再受到蒸气流碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁。经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸气进气多级压缩，最后由前级泵抽走，而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到下层重新被加热，如此循环工作达到抽气目的。

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扩散泵是真空镀膜机的主要部件，为机器能运作在最佳状态，平时对扩散泵的维护和保养非常重要。

, @# v6 d! z( F8 c3 G) U& `1,扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。
4 o/ Q  H' m+ ~3 e" e) c2,扩散泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。
3,被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。
' D+ I  Q+ I3 R4,扩散泵如暂时不用，保管期间应该保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。
5,扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏，应定期检查。如：泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理；零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用丙酮进行擦洗，并置于80-100摄氏度温度下烘干或用电吹风吹干。处理完后，按顺序进行装配，保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好。
7 V6 s" [! M  {6,待水分挥发干以后装好泵芯，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。
7,在重新开机前，要注意检漏工作。方法是：启动维护泵，关好大门，数分钟后，观察真空度是否6*10的0帕，否则要进行检漏，检查连接处是否漏装密封胶圈，或者压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧坏，无法进入工作状态

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