超高真空比对校准系统的指标测试与模拟校准

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超高真空系统极限真空度的测试
           动态法超高真空比对校准系统装置开机工作正常后，首先对校准装置进行烘烤除气，从室温开始加热，以30 ℃/h 升温，10 h 后超高真空系统的烘烤温度升为300 ℃；打开NEG 泵角阀，激活NEG 泵（激活温度为500 ℃，激活时间2 h），然后关闭NEG 泵角阀。在300 ℃的温度下维持8 h 后，以30 ℃/h 的速率降温，10 h 后降到室温；打开NEG 泵角阀对校准容器抽气，校准装置的真空度稳定后测得极限真空度为4.9×10-9 Pa。
8 P- G: T2 C& t2 X3 o  超高真空系统校准范围的测试
  n/ U6 I: g% u1 c& A9 H           用超高真空微调阀（15）调节稳压室中的压力，注入到校准室中，每个量程选择3个校准点，观测微调阀是否能够调出所要求校准范围的压力点。压力点的读数采用经校准过的IE514 型分离规，数据见表1。
  
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$ K6 J- k* [- k! X' o0 B( {, A  表1 校准范围调节读数表
           从数据可以看出，能够满足校准范围的调节，超高真空微调阀的行程和均匀性都非常好，可在校准范围内调节所需的任一压力校准点。
  合成标准不确定度的评定
* q; {. Y7 K: H5 Y5 L2 w8 n3 Q           参考规选用IE514 型分离规，经超高/极高真空校准装置校准的合成标准不确定度为2.5%。本底引入的不确定度为1.8%，统计不确定度为0.54%，则合成标准不确定度为3.2%，扩展不确定度9.6%（k=3）。
  模拟校准
$ l1 U/ X7 c* r           在动态法超高真空比对校准系统上，用分离规作参考标准对超高热阴极电离真空计进行比对模拟校准，主要验证微调阀的行程和稳定性，以及是否能够满足实际的超高真空规的校准。具体在每个量程按3 个校准点进行校准，共校准3 个量程9 个点，完全能够覆盖该装置的校准范围，校准数据见表2。
  
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. q+ w- o* ]0 V0 q/ P1 G2 E: t8 o6 ^  表2 模拟校准数据
           超高真空相对比对校准装置，可以用于超高真空规的动态直接比对校准，结束过去用线性外推法进行超高真空规的校准，能够确保国防科技工业在超高真空区域真空量值的传递和统一。
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  动态法超高真空比对校准系统原理图
) l8 g5 v$ t1 f) r2 W: W8 b; a  超高真空比对校准系统的指标测试与模拟校准