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一、 概述6 s6 \( m* `$ k9 ?/ ?
DL-10型真空计是石英晶振真空计。它的量程较宽,精度较高。该真空计由规管与控制单元组成,控制单元的数码管显示压强值。
% l' r: q5 L$ [8 N- {- T- u 二、 技术要求
0 U2 `" K2 s: a* {; `7 s 1、 测量范围:10-105Pa% D$ U+ s/ C& a+ a* W# }
2、 电源:交流 220V,50Hz! Q* ^) o6 S2 r/ h
3、 功率:7W# p% k/ m6 C# U
4、 机箱尺寸:200×90 ×160mm(宽×高×深)
- {9 u( k/ W0 o/ Z: ~6 w1 |9 C 三、 原理 2 @0 y- F, n! }
DL-10型真空计是应用石英晶振的谐振阻抗与 气体压强有关的特性做的真空计。石英晶振装在铝壳中做成规管,管 径为15.5mm,可通过接口插入系统。谐振阻抗的测量电路如图1所示 :( F9 e' l3 e' Y& W
/ a, Q8 O/ i) X' c3 Q2 e% y
8 w* n/ w# o. K5 E7 W/ r
VAB为晶振两端电压6 \4 X5 _( E- N% `7 K C
I 为流过晶振的电流
# A+ c {' b0 h. o8 k1 } 电流I流过与 晶振串联的电阻R,在电阻两端的电压为VBD1 i) t% @3 [; W' M
" j2 T2 E3 v) @9 N VAB 近似等于AC两端电压 V0,VBD近似等于DC两端电压V1,由测量的 V0,V1值及电阻值,可以计算出阻抗。单片 机将阻抗转换成压强,由数码管显示压强值。8 R3 C( l0 P" a; { n
四、DL-10真空计的安装
9 N- A7 u8 s( s# o' n DL-10真空计的安装如图2所示:% y7 O. i( S H1 [6 b
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石英晶振及振荡电路放在探头内,引线电缆通过 5芯插头插入控制单元后面板的插座内,探头Φ15.5直径的管道插入 真空系统。电源电缆一头插入控制单元后面板插座,另一端插入电源 插座。电源插座应含接地线,使控制单元机箱接地。打开电源开关, 控制单元数码管显示压强值。数码管显示3.2 E 2 表示压强值 为3.2×102Pa 。
0 @# m! B- f8 ~5 m 五、校准
1 _& [8 s3 ^3 i! w6 Z) u 当环境温度变化时,应对DL-10进行校准,校准方法如下:& v! U2 m2 U. Z! K& g
1、大气校准:在规管压强为大气时,用改锥按 压控制单元前面板大气孔内的按键,松开后即可。: p5 _# F( D( v9 ^
2、零点调节:在规管压强小于1×10- 2Pa时,用改锥按压控制单元前面板零点孔内的按键,松开后 即可。" D: s. I1 @5 g7 I& T: W9 h
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石英真空计的工作原理与测量范围 |
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