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一、 概述9 }$ R! X# |: a% r+ O k
DL-10型真空计是石英晶振真空计。它的量程较宽,精度较高。该真空计由规管与控制单元组成,控制单元的数码管显示压强值。
6 Z* J" o- j2 F" k 二、 技术要求
4 K. S5 t4 G* P4 e 1、 测量范围:10-105Pa; r4 O2 I- S* I+ r0 }3 D" k5 j6 _
2、 电源:交流 220V,50Hz
5 a/ g. I5 Y9 t( c1 t 3、 功率:7W
& F9 T+ ^ K2 }0 z( w 4、 机箱尺寸:200×90 ×160mm(宽×高×深)6 \) f/ b/ q9 _1 ]5 O+ |) C5 g
三、 原理
3 [: z0 w& Z$ ` T4 ]+ q DL-10型真空计是应用石英晶振的谐振阻抗与 气体压强有关的特性做的真空计。石英晶振装在铝壳中做成规管,管 径为15.5mm,可通过接口插入系统。谐振阻抗的测量电路如图1所示 :
2 p, _2 Q6 c0 c/ o) q" P& T% l , Y8 q* B4 O4 n; O
* X5 d+ u8 J! ^6 z: J) Z VAB为晶振两端电压
, I: S2 Y9 D4 n7 @* e0 b) C* H I 为流过晶振的电流
4 v& Q. H; V6 z& {8 { 电流I流过与 晶振串联的电阻R,在电阻两端的电压为VBD
: _2 D) Z; L p, V: ~; n; D2 A" i
f# u" t# l5 W& E! Y9 j4 K VAB 近似等于AC两端电压 V0,VBD近似等于DC两端电压V1,由测量的 V0,V1值及电阻值,可以计算出阻抗。单片 机将阻抗转换成压强,由数码管显示压强值。
9 i5 l5 h7 e& k( R$ R 四、DL-10真空计的安装. Y0 p8 s) [; H: J6 R- z- A5 s1 {
DL-10真空计的安装如图2所示:7 J6 o+ F! L- R( ^: u$ {
0 U g: M0 H7 g% a( Z 石英晶振及振荡电路放在探头内,引线电缆通过 5芯插头插入控制单元后面板的插座内,探头Φ15.5直径的管道插入 真空系统。电源电缆一头插入控制单元后面板插座,另一端插入电源 插座。电源插座应含接地线,使控制单元机箱接地。打开电源开关, 控制单元数码管显示压强值。数码管显示3.2 E 2 表示压强值 为3.2×102Pa 。 `" I8 E v* B* ]) k
五、校准& E0 ?1 t8 G9 f( O N) E: C
当环境温度变化时,应对DL-10进行校准,校准方法如下:, g! |# \' U4 ]' `1 s
1、大气校准:在规管压强为大气时,用改锥按 压控制单元前面板大气孔内的按键,松开后即可。
3 c% g) ]1 g) |5 }" j+ B" e 2、零点调节:在规管压强小于1×10- 2Pa时,用改锥按压控制单元前面板零点孔内的按键,松开后 即可。, T( M1 p; v! K* f5 m
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