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一、 概述
T$ ~; E% @4 U/ t# P ?1 n DL-10型真空计是石英晶振真空计。它的量程较宽,精度较高。该真空计由规管与控制单元组成,控制单元的数码管显示压强值。
8 `! E @9 H3 o 二、 技术要求
0 ?, T$ U6 v' |* E" m/ v 1、 测量范围:10-105Pa- M1 D0 T( O/ w* e! s+ m' I; h
2、 电源:交流 220V,50Hz
- [2 O( J! v& E6 b4 A 3、 功率:7W
! Z# h6 `& W0 s! b 4、 机箱尺寸:200×90 ×160mm(宽×高×深)
v) A& X7 y6 h, m, m 三、 原理 * R+ ?+ r a& o& r6 I' C" x9 L& G$ n
DL-10型真空计是应用石英晶振的谐振阻抗与 气体压强有关的特性做的真空计。石英晶振装在铝壳中做成规管,管 径为15.5mm,可通过接口插入系统。谐振阻抗的测量电路如图1所示 :) Q. D; J0 e, ^2 s% U
9 N9 L! a) U/ p5 n6 a( \4 L3 i
1 `8 ~; u0 ~. d8 N4 Q6 U' C' R9 Z4 X
VAB为晶振两端电压
! P u7 W, G* f0 x I 为流过晶振的电流
9 X3 j: k4 N( I j5 }4 e 电流I流过与 晶振串联的电阻R,在电阻两端的电压为VBD
/ ^! ^' u& f9 I* Y5 U q* y- h I* i H% Z. v7 p8 V7 b. `
VAB 近似等于AC两端电压 V0,VBD近似等于DC两端电压V1,由测量的 V0,V1值及电阻值,可以计算出阻抗。单片 机将阻抗转换成压强,由数码管显示压强值。& T, y8 K8 T& m2 f" }. O
四、DL-10真空计的安装
/ G5 L8 e6 y2 O& o/ V4 s7 Q DL-10真空计的安装如图2所示:% _% L9 P0 x: c- Q
9 O( s! M+ x$ Q" j& |
石英晶振及振荡电路放在探头内,引线电缆通过 5芯插头插入控制单元后面板的插座内,探头Φ15.5直径的管道插入 真空系统。电源电缆一头插入控制单元后面板插座,另一端插入电源 插座。电源插座应含接地线,使控制单元机箱接地。打开电源开关, 控制单元数码管显示压强值。数码管显示3.2 E 2 表示压强值 为3.2×102Pa 。* R5 F- X: Y* J* d! p3 X
五、校准& r/ c& i/ \+ G% c
当环境温度变化时,应对DL-10进行校准,校准方法如下:
5 R* ]. E, J6 B) C8 c) H o 1、大气校准:在规管压强为大气时,用改锥按 压控制单元前面板大气孔内的按键,松开后即可。( ^5 f$ l- l- Y7 l
2、零点调节:在规管压强小于1×10- 2Pa时,用改锥按压控制单元前面板零点孔内的按键,松开后 即可。8 C3 l+ l2 u/ c: X& L! j; d
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+ p5 `% O: E6 ?; V2 ^: R DL-10型真空计产品使用说明书7 k/ O- Z0 E1 r3 N$ [7 l: S+ f. j- I
石英真空计的工作原理与测量范围 |
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