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一、 概述* y9 u8 ~, p0 ?2 A
DL-10型真空计是石英晶振真空计。它的量程较宽,精度较高。该真空计由规管与控制单元组成,控制单元的数码管显示压强值。1 q3 j$ S) M" _: `
二、 技术要求5 z1 k: {1 Q o( c Y2 g6 R1 t
1、 测量范围:10-105Pa
/ c+ Y' O( g# I/ U. s7 _! y 2、 电源:交流 220V,50Hz
4 r6 O. [6 Y, ~. \' f2 M 3、 功率:7W
: E* y7 W% J, ~; C 4、 机箱尺寸:200×90 ×160mm(宽×高×深)
& ^+ ~, W. K" }$ Y; u' @9 A 三、 原理 + M# o+ f& a# d, m3 P1 K
DL-10型真空计是应用石英晶振的谐振阻抗与 气体压强有关的特性做的真空计。石英晶振装在铝壳中做成规管,管 径为15.5mm,可通过接口插入系统。谐振阻抗的测量电路如图1所示 :( ?7 F6 s9 O; c3 K( k
1 V7 n/ n/ g2 O" Z 2 }+ r* N7 y. q, j( z* H
VAB为晶振两端电压
% i+ F" h" S ?7 N I 为流过晶振的电流
" s* U6 k. Q [4 W, M2 e 电流I流过与 晶振串联的电阻R,在电阻两端的电压为VBD6 k: K, u1 F7 R3 N% h
8 u0 U) q4 R, b; X VAB 近似等于AC两端电压 V0,VBD近似等于DC两端电压V1,由测量的 V0,V1值及电阻值,可以计算出阻抗。单片 机将阻抗转换成压强,由数码管显示压强值。
1 Q9 e/ K, A$ Q$ E 四、DL-10真空计的安装, Z" |( [6 @- `( F4 l9 p2 M6 O
DL-10真空计的安装如图2所示:
' K8 O4 z" K2 @6 ?3 `# u
/ K- r$ G9 j4 F- w* W 石英晶振及振荡电路放在探头内,引线电缆通过 5芯插头插入控制单元后面板的插座内,探头Φ15.5直径的管道插入 真空系统。电源电缆一头插入控制单元后面板插座,另一端插入电源 插座。电源插座应含接地线,使控制单元机箱接地。打开电源开关, 控制单元数码管显示压强值。数码管显示3.2 E 2 表示压强值 为3.2×102Pa 。6 |% D6 q2 ~3 M/ O8 I
五、校准
' H B2 D9 }7 C 当环境温度变化时,应对DL-10进行校准,校准方法如下:2 B0 H: u7 p: q- F2 @( L( [
1、大气校准:在规管压强为大气时,用改锥按 压控制单元前面板大气孔内的按键,松开后即可。# B9 T8 [* A7 E' D3 G
2、零点调节:在规管压强小于1×10- 2Pa时,用改锥按压控制单元前面板零点孔内的按键,松开后 即可。
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DL-10型真空计产品使用说明书
5 a' d/ m/ M3 M 石英真空计的工作原理与测量范围 |
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