真空测量的特点和真空计选择原则

bomoaa

真空测量的特点
7 W: B4 I) U: y! W  　　（1）测量压力范围宽，为105～ 10-14 Pa。
  　　（2）大部分真空计是间接测量，只有压力为105～ 10Pa时，可直接测单位面积所受的力。但大多数真空测量的压力比上述要小，不能直接测量，应利用低压下气体的某些特性（如热传导、粘滞性和电离等）进行间接测量。
7 c$ J" r9 R" V' z5 [9 u2 {  　　（3）多采用非电量电测技术。由于非电量电测技术具有灵敏度高、反应迅速、可实现自动和远距离测量，因此，大部分真空计采用这一方法。电子式真空计是由真空测量规管和电子测量电路（控制和指示单元）两部分组成。规管是敏感元件，它利用气体在低压下的某些特性将非电量的气体压力转变成电信号，再由测量电路将规管输出的电信号进行放大和显示。必要时，将输出信号送至自动记录仪和自动控制设备中，实现真空设备自动化。规管将非电量压力转变成电量所需的条件，由测量电路的控制单元提供。
6 d: J% r, t# Y2 m( ^  　　（4）部分真空计的读数与气体种类和成分有关。所以测量时要特别注意被测量气体种类和成分，否则会造成很大误差。
  　　（5）测量精度不高。在间接测量压力过程中，往往需要外加能量来协助。外加能量可能是热能、电能、机械能和放射能等。这样，在引入外加能量的同时，也不可避免地引进了测量误差。因此，真空测量仪表的精度比其他物理测量仪表要低。如真空测量基准仪表和标准仪表的不确定度为（2 ～ 10）×10-2，工作仪表的测量误差在 ±20 ×10-2以内就很好了。 选择真空计的原则
  　　各种真空计都有这样或那样的问题，仅就适用的压力范围而言就相当复杂。选择真空计需要相当丰富的知识，可按如下顺序考虑：
8 c3 \' T# S3 T5 C  　　（1）在要求的压力区域内有要求的精度。
6 C5 C2 v4 O. U1 l8 L. h  　　（2）被测气体是否会损伤真空计？真空计会不会给被测气体状态带来影响？
  　　（3）能测全压力吗？可校准吗？灵敏度与气体种类是否有关？
  　　（4）可否连续指示、电气指示以及反应时间长短怎样？
  　　（5）稳定性、复现性、可靠性和寿命如何？
  　　（6）真空计的安装方法，操作性能、保修、管理、市场情况，购买的难易程度和规格等。
  　　除考虑上述问题外，还要查阅参考书、样本或直接向生产厂家、供应商查询。