比较法真空规校准装置性能研究

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　　比较法真空规校准装置是真空计量的主要工作标准，主标准器溯源到静态膨胀式真空标准装置。为了保证量值传递数据的准确可靠，对装置的不确定度进行了分析和评定，同时对装置的计量性能稳定性和重复性进行了测试和研究。
  1、引言
: u5 K) m' x2 U" d9 G* G! ?/ k  　　比较法真空规校准装置主要用于真空量值的比较校准,是真空计量进行量传的主要校准装置。目前，大量的高真空计和低真空计都是通过比较法真空规校准装置进行校准，为了保证校准数据的质量，需要对装置的不确定度进行分析和评定。比较法真空规校准装置的主标准器电容薄膜真空计和磁悬浮转子真空计溯源到膨胀式一等真空标准装置，装置测量不确定度的评定，通过A 类和B 类评定方法进行。同时对比较法真空规校准装置的计量性能进行深入研究，包括装置的稳定性和重复性的测量和验证。
  2、装置工作原理和组成
5 l% h( [+ Y8 B$ n( _4 e  2.1 、装置的原理和校准方法
  　　装置的工作原理是将被校准的真空计与主标准器连接到装置的校准室上，通过微调阀调节校准室中的压力点，当校准室中的压力达到所需的动态平衡或静态平衡压力时，被校真空计和主标准器同时测量校准室中的同一压力，将测量结果进行直接比较，给出压力示值的修正因子或校准曲线。比较法真空规校准装置采用动态比较和静态比较2 种方法。动态比较法的主标准器用磁悬浮转子真空计，静态比较法的主标准器用电容薄膜真空计。主标准器溯源到一等膨胀式真空标准装置，校准证书给出的扩展不确定度是0.9%（k=2）。
  7、结束语
' N- s/ _: M+ i  　　通过对比较法真空规校准装置的测量不确定度分析评定和验证，对装置的稳定性和重复性等计量性能进行测试和研究。证明比较法真空规校准装置在10-4～105 Pa 的压力范围内满足开展量传的等级关系，能够开展各类真空计的校准工作。
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