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便携式真空校准装置
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(1.清华大学,北京 100084; 2.兰州物理研究所,甘肃 兰州730000)8 i+ G. n4 k9 Z) G4 O- c
摘 要:为了解决许多应用领域对真空计的校准需求,研制出便携式真空校准装置。采用直径为200mm 的球形容器作为校准室,用两台不同量程的电容薄膜规作为参考标准,将静态比对法、静态膨胀法及动态流导法集成在一台装置上,实现1×105~4×10-6 Pa 范围对真空计的校准。) X \. \1 `! e2 o* P* r. b- z& }
静态比对法的校准范围为1×105~5×10-1 Pa ,合成标准不确定度为1.3%;静态膨胀法的校准范围为5×10-1~5×10-3 Pa,合成标准不确定度为1.5%;动态流导法采用两个不同流导小孔衰减压力实现的校准范围为5×10-3~4×10-6 Pa,合成标准不确定度为3.7%~4.7%。- }. b/ }5 M4 Q, n N9 q4 @5 u
装置的外形尺寸为长×宽×高=450×400×750mm,总重量小于40 公斤,具有体积小、重量轻、成本低、便携等优点。; Z5 i$ b8 X X2 E
关键词:真空计;计量;校准;便携式 |
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