便携式真空校准装置

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便携式真空校准装置
) }/ j' e, R0 Z6 e  卢耀文1 陈旭1 李得天2 齐京1 查良镇1
4 C1 C4 q1 F, M8 _  (1.清华大学，北京 100084; 2.兰州物理研究所，甘肃 兰州730000)
8 W' Q1 m* x8 L7 F  　　摘 要：为了解决许多应用领域对真空计的校准需求，研制出便携式真空校准装置。采用直径为200mm 的球形容器作为校准室，用两台不同量程的电容薄膜规作为参考标准，将静态比对法、静态膨胀法及动态流导法集成在一台装置上，实现1×105～4×10-6 Pa 范围对真空计的校准。
% D, Q2 i$ d5 z( s5 s2 u) w  @# N  　　静态比对法的校准范围为1×105～5×10-1 Pa ，合成标准不确定度为1.3%;静态膨胀法的校准范围为5×10-1～5×10-3 Pa，合成标准不确定度为1.5%;动态流导法采用两个不同流导小孔衰减压力实现的校准范围为5×10-3～4×10-6 Pa，合成标准不确定度为3.7%～4.7%。
7 ^8 v: _# W# L8 n  　　装置的外形尺寸为长×宽×高=450×400×750mm,总重量小于40 公斤，具有体积小、重量轻、成本低、便携等优点。
  　　关键词：真空计;计量;校准;便携式