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[原创] 电容薄膜规在真空环境下测量偏差的原因分析

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发表于 2014-7-20 02:00:54 | 显示全部楼层 |阅读模式
电容薄膜规在真空环境下测量偏差的原因分析! k, x. c$ q, v% m" ?3 F$ ~
  杜春林 许忠旭 常冬林; t; H  m, H5 \1 v% O" {  d, O
  可靠性与环境工程技术重点实验室 北京卫星环境工程研究所% o( d2 Z- Z" [( L
    摘要:在某大型航天器泄复压试验的调试中,使用了电容薄膜规(以下简称薄膜规)进行密封舱内真空度测量。由于测量时薄膜规处于真空环境中,因此测量数据出现了较大的偏差。% G7 c% z2 l% L: X; K" A8 `5 H
    本文即对这一问题进行原因分析,提出薄膜本底偏移量是产生偏差的最重要原因,并有针对性地采取解决措施。
1 ?" P1 @* e) k" L, J    关键词:薄膜规 本底偏移量 真空 偏差
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