微压式数字活塞压力计测量不确定度的评定

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微压式数字活塞压力计测量不确定度的评定
7 f- `2 K" o$ e5 s0 J: U  魏万印，李得天，冯焱，成永军
% ^2 Z  t8 y, x; k  u6 q4 f  (中国航天科技集团公司五院510 所)
  　　摘要：粗低真空校准技术广泛应用于航空航天等高科技领域。中国航天科技集团公司五院510 所建立的粗低真空校准装置的核心是数字活塞压力计，在30Pa-11kPa 校准范围内采用了Furness 公司的FRS5 微压式数字活塞压力计作为主标准器。
# M. L8 A9 W4 c. f( n0 w" N8 `7 v5 X  　　本文分析了FRS5 微压式数字活塞压力计在绝压模式下的测量不确定来源，并对各项不确定度分量进行了评定，最后给出了测量不确定度。