便携式真空计校准装置系统介绍

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　　便携式真空计校准装置主要由校准室、抽气系统、进气系统三部分组成，整体尺寸为450mm×400mm×750mm，总重量小于40kg，装置的外形如图1所示。
  
; u$ ?  {8 H5 V! f( T$ X5 A( x0 ~+ D  图1校准装置外观图
4 H/ K. I/ t0 w  　　便携式真空计校准装置的原理结构如图2所示，RP为机械泵；TMP为分子泵；VC1为校准室；VC2为稳压室；C1，C2，C3分别是直径约为0.02，0.1，11mm的小孔；V1、V10为截止阀；V2为全金属角阀；V3、V4、V5、V6为波纹管截止阀；V7、V9为球阀；V11为带有标准体积的阀门；G1、G4为监测真空计；G2、G3是满量程为133，1.33×105Pa的电容薄膜真空计。
  
  图2　校准装置原理图
) M8 ^. e2 ]( Q$ e5 q. R) A9 R  1、校准室
% b% F) Y' p6 V# ?1 _  　　校准室VC1是直径为200mm的球形容器，球形结构是真空计量标准的理想结构形式，气体分子可在球内容易达到均匀分布。校准室的赤道上设计了5个CF35法兰和2个8VCR接口，用于安装被校准真空计和参考标准。校准室及法兰均采用SUS316L钢材制成，内表面进行了电抛光和化学清洗，通过高温除气去除了材料内部的气体。校准室上安装了美国INFICON公司生产的电容薄膜真空计G2和G3作为参考标准。
$ `6 ?* g: s/ ]+ }- O. w- G5 t: @  2、抽气系统
/ p9 J4 k4 L. F6 @( b: M  i0 A  　　抽气系统由主抽气分子泵TMP、机械泵RP、全金属角阀V2、旁通抽气阀门V3、小孔C3及阀门V10等组成。分子泵对氮气的标称抽速为80L/s，通过全金属角阀和校准室连接。在全金属角阀和校准室之间安装了直径约为11mm的圆形薄壁限流抽气小孔C3，它对氮气的流导约为10L/s。分子泵前级采用标称抽速为2L/s的机械泵，在机械泵和分子泵之间安装了电磁隔断阀V1，用于旁通抽气阀门V3打开时隔离分子泵和机械泵。
, }0 l4 k3 Z$ Z6 o9 s1 x  3、进气系统
  　　进气系统主要由稳压室VC2和阀门V5、V6、V7、V8、V11以及小孔C1、C2等组成，其中阀门V7与气源连接。稳压室VC2是体积为2L的不锈钢容器，其上安装了皮拉尼真空计G1。采用静态比对法和静态膨胀法校准时，关闭阀门V8、V9后通过V7及V5(或V6)直接进气；采用动态流量法校准时，先通过阀门V7、V8向VC2中引入一定压力的气体，然后关闭V7并打开V5(或V6)后，通过V8调节由VC2引入VC1中的气体压力。
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