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双枪镀膜机均匀板的修整方法- L% o' b3 r: g4 z7 a5 M
/ T% z/ X4 l7 F, l对与带有双电子枪的镀膜机来说，修整高、低折射率材料的膜厚之比很是麻烦。但是我介绍的这种方法，简单实用，一步到位，希望对大家有帮助！
) w+ {( ^/ {2 ?) }2 W, `/ p: z$ ]1、镀一个7层的1/2波长厚度的膜系：2H2L2H2L2H2L2H，由于它在监控波长处全为虚设层，故透射率为极大，而其两侧的两个透射极小值峰对高、低折射率误差极为敏感。
( I" z3 e- d& y( b5 R2、若低折射率层偏薄，则短波侧的透射率降低而长波侧的透射峰升高，反之亦然。
# s: ?9 S3 g7 d5 d( Z7 L! u: y3、由此不仅可以了解膜厚均匀性，而且可知高低折射率膜的厚度比是否正确。 |
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发表于 2014-6-2 08:11:33
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