|
我们最近镀的窄带出现无规律漂移。
& Z. o& `2 r' b" u
$ A& Q" O6 e& ^! T, N* @机器:光驰OTFC-1100,2007年买的。光学间接监控,晶控辅助,离子源,控制波长1084NM。+ s. r s" p8 p! n& K, O
, T$ B% L; O4 c6 l7 N7 G# s# @膜料:sio2,ta2o5.5 p2 o0 c# u" C- k z
2 L6 f' t8 l: T8 V3 {: h
膜系要求:1064NM在0°12°15°,T>80%。这样就设计出来一个半波在20NM左右的一个窄带,0°中心波长在1073nm。我们设计的膜系是44层。
$ a: b9 j( w4 W; f7 r c6 U0 `
" X; H' b5 @7 v. y" B8 u现象:无规律的偏薄或者偏厚5~20NM,这样膜就用不成了。经常前一罩完全正常,后一罩就漂移了。也有连着好几罩正常,突然出现漂移的。出现漂移后,我们修改控制波长进行修正,会出现膜系完全和上罩曲线一样,没动的现象。再修改控制波长,,膜系会移动两次修正之和的位置。有点乱啊,呵呵,举个例子啊,这次是中心波长在1078,我控制波长移薄5个,正常的话出来的中心波长应该在1073,结果出来中心波长还在1078,然后我又移薄5个,这次出来的中心波长却是在1068位置。好几次都是这样。但是 镀截止膜的时候几乎没出现过这种情况。: s4 ]' w" b% b% N9 z
+ ]7 K* r e( b8 F9 \# ?
解决办法:1.先是怀疑单色仪有问题,换来厂家的装上,没解决。* e! e/ I5 |2 r5 d) b
7 O- B+ S6 l9 z: Z- ?1 I! X+ Y 2.我们有红外单色仪,换上用红外波长控制,没解决。4 H2 U2 |/ c4 N9 C
: n3 s( Y7 T) @9 X, _; A
3.换控制波长,波长换到700,没解决。
9 @- {6 f$ G5 a/ C& M' U3 |: g- I, |2 i7 N
4.厂家说可能是装光控片的托盘时间长变形了,买来新的换上,用平行度小的光控片,没解决。
. \& w* R( m3 P9 u4 M
* p+ J* w- Q+ ~. L: i 5.怀疑离子源问题,买来新的栅网换上,没解决。
' ^3 o W9 {' X N- q. Z8 J$ n H9 ?9 ~8 h
6.更换旋转架滚珠,没解决。
2 w& l8 L- n; c
. ]9 [+ W/ [9 x/ G 7.更换修正板,没解决。
$ s- ?4 t" ` B; r) K% F) M2 i( ?! t8 f* B
8.测量温度,正常,没解决。" i" m- e$ D0 H
4 {7 }" y& M) |# c; ]
目前就实验了这么多办法,实在想不出来了,各位同行有没有好的提议,大家都来讨论交流一下。; u7 b6 i* A+ o) ]! V2 ?5 U8 j
|
|