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Al2O3蒸镀问题

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发表于 2014-3-1 19:04:31 | 显示全部楼层 |阅读模式
哪位大神可以帮忙解释一下,蒸镀Al2O3时,机台模拟n-T的曲线峰值折射率在2.3附近,但实际蒸镀出来却是-2.26,实际蒸镀曲线折射率在0以下但模拟曲线折射率在0以上,两曲线方向相反是因为什么啊?大家蒸镀Al2O3的折射率是多少啊?我做出来是1.575,谢谢各位啊~~~

' c( L8 i3 x$ `$ Q0 s* u/ E2 a1 `# m
发表于 2014-3-3 18:58:57 | 显示全部楼层
晕了 你测透过率峰值在2.3  是R值吧  一般为1.68左右
 楼主| 发表于 2014-3-4 08:21:59 | 显示全部楼层
xiaohuilee 发表于 2014-3-3 18:58! F8 q3 g! Q7 A- D2 R/ n
晕了 你测透过率峰值在2.3  是R值吧  一般为1.68左右
: R( X7 Z, N$ T) ?
是R值,不好意思我说错了,现在我镀出来的是1.575,但是在材料编辑里面必须写1.46左右才能正常镀,您知道这是为什么吗?
发表于 2014-3-6 18:31:24 | 显示全部楼层
PENGNA_CR 发表于 2014-3-4 08:21
9 j0 Z. [( k2 {是R值,不好意思我说错了,现在我镀出来的是1.575,但是在材料编辑里面必须写1.46左右才能正常镀,您知道 ...

3 ]7 J' G8 S3 P; m* R9 m1.46是sio2的折射率  你把你的镀膜曲线发出来我给你算算  也有可能是你的算法不对
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