|
楼主 |
发表于 2007-7-7 18:47:13
|
显示全部楼层
谢谢大家的指教,我现在用反推法,
' y( o- R5 \3 ?) y8 Z; N+ l# ?1。我先用TFC模拟镀单层膜TIO2,参考波长700nm,5个peak,然后将模拟出来的T保存起来,; e6 n4 }: W" Q: z, Z s- N
2。将模拟出来的T值当作实际镀膜后的测量值,并将这些T值带入到formula算法要的测量值中。3 R7 d/ p+ M" I/ R6 P% u
3。虽然选用不同的公式,甚至K值(取K=0)和膜厚(D=375.86nm)都有取过第一步模拟时的值,但模拟出来的值始终都有很大的偏差(15%以上)。?????????
( r- h# T5 C' h3 x/ w& J4.我记得曾经有一次有取K值(取K=0)和膜厚(D=375.86nm),算出的值比较接近第一步的NK(但其它公式或膜厚估计值时就相差非常大).而这次不管我怎么变都相差很大??????????
4 y( h) W5 e0 k1 Q
0 V) h `5 Y2 K还请各位大侠指教!!!!! |
|