有人可以帮忙吗?有关于薄膜牢固度的问题

ererer222 · 发表于 2006-7-4 01:38:08

我现在用的是韩国intec的机器  由于我们生产的工件比较大就是大的棱镜所以我们把加热电阻丝罩向上提了30mm 结果牢固度相当不好用布用劲的擦拭结果膜就有的掉了我们用的是圆锅式的基架
我们已经把钟罩内清洗了一遍  基片也擦干净了而且温度也加到300度而且加热时间为两个半小时
各位大侠可否赐教小弟一下不胜感激!!!!!  [s:6]  [s:6]  [s:6]

mdy530 · 发表于 2006-7-17 04:59:52

加热电阻丝罩向上提应该不会影响膜层牢固度的，用的什么材料？把温度将一下呢！！
你们可以加一个离子源呀,效果很好，

rotarynife · 发表于 2006-7-22 20:05:31

感謝樓主

00000000 · 发表于 2006-8-2 16:02:16

前面那兄弟说的很对,加一个离子源.在每一层镀膜之前用离子源轰击基材300秒左右

7777953 · 发表于 2006-8-9 03:27:15

加离子源是最简单的方法了
在这之前还需确定一下真空是否正常，有无漏气
真空室卫生和基片情况

黑子 · 发表于 2006-8-13 22:37:31

我用的也是intec,但我有加了离子源,目前脱膜现象几乎没有!
还有就是机台的真空的情况跟你机台内的实际温度是否有达到要求!

800215 · 发表于 2006-8-19 01:23:20

加离子源是最容易操作的方法了，不妨一试哟！

ererer222 · 发表于 2006-9-14 02:33:19

谢谢大家你们一般都用什么牌子离子源

chenying · 发表于 2006-9-15 02:14:44

楼上各位都说废话牢固度与很多因素有关，不是有离子源就能一定解决牢固度的。

dinghaiyi · 发表于 2006-9-22 21:24:37

蒸发速率有没有改变啊?

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