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成都威特南光真空科技有限公司新型电子枪研制成功
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一.电子枪发出的电子束,通过永磁发生270°偏转,正对坩埚垂直打在蒸发物上
: c) R+ f3 `& n0 X; [- o% C 1.由于电子束是垂直打在蒸发物上,这样就有效的利用了蒸发物。
7 f8 l$ `" Z. k/ S6 X" P" ` 2.电子束偏转为270°,避免了因爆料给灯丝带来的污染。
) B8 H0 u4 s/ f9 r3 ` 3.永磁安装在水冷板上,能够避免因温度升高而影响磁场,从而稳固了光斑的位置。 ' s' t6 k$ X) B: t
二.电子枪中装有具扫描功能的电磁线圈,其作用是将光斑打在坩埚蒸发物表面。
' O5 e; ~% ]+ A, o, ?: r: H: l 1.光斑可调整至坩埚内蒸发物表面的任意位置。 : E1 v" c F+ I( ]' r8 E/ a7 F; j
2.通过扫描功能可调节光斑的大小,使其膜料可得到大面积均匀的蒸发。提高了膜层的均匀性,同时也提高了生产效率。) i# J0 ^( j1 k, u' {9 n; h
8 x, c( @( @) A9 |* U三.电子枪构造牢固,易维护。
+ ]: f# w, A8 S+ ? l% ` 1.坩埚防污盖及坩埚均可从上方拆卸。 5 A2 ~8 J; v: P2 Z
2.电子枪部份与坩埚部份可分拆。( h% u) ^2 ?8 i8 q/ g
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四.规格与标准:
$ L/ }# _9 i3 S5 L' b5 o) T 输出功率 8KW 10KW & a% ?1 P& M0 l8 I
高压 8KV 10KV
2 ]+ O" r: e4 y7 X! c, j3 L 发射电流 0~1A : T& M; Y& W- y4 \* Q+ Z
电子束偏转角 270°
5 K% c6 o. {4 z* R) H9 A$ r9 L 电子束偏转方式 永磁铁 2 C+ N3 K6 P: ]2 q3 K
光斑最大范围 15mm×15mm(X/Y)
X: ]( m S9 B/ U& e0 a 光斑扫描范围 15mm×15mm(X/Y)
' O( n \' `4 R 坩埚 6-φ35×15 8-φ35×15 : @0 y! u0 y% s8 R; ?
容积:12ml 斜度:10° 6 r" `1 H- S4 O* I1 }8 s) y
外形尺寸 6位:277×133×128 % h3 C: `+ u4 Q
8位:287×133×128
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五.样品
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