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成都威特南光真空科技有限公司新型电子枪研制成功
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% I0 C- ~5 L" T7 i0 Y一.电子枪发出的电子束,通过永磁发生270°偏转,正对坩埚垂直打在蒸发物上
* `3 B% f* ~2 o) N 1.由于电子束是垂直打在蒸发物上,这样就有效的利用了蒸发物。 . }* y. w. }& Y" Q2 [
2.电子束偏转为270°,避免了因爆料给灯丝带来的污染。
7 O- [: l7 k8 m* M 3.永磁安装在水冷板上,能够避免因温度升高而影响磁场,从而稳固了光斑的位置。
, B' ^& n' m, ]8 _( R# R二.电子枪中装有具扫描功能的电磁线圈,其作用是将光斑打在坩埚蒸发物表面。 7 Y B$ t- T7 @- a
1.光斑可调整至坩埚内蒸发物表面的任意位置。 9 _: _% m1 q8 o* F+ ^: G1 u
2.通过扫描功能可调节光斑的大小,使其膜料可得到大面积均匀的蒸发。提高了膜层的均匀性,同时也提高了生产效率。
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) g8 w+ X) N$ Z4 N) q三.电子枪构造牢固,易维护。 N4 r. W& t( j/ J z4 C; _/ F
1.坩埚防污盖及坩埚均可从上方拆卸。 : a2 t4 W% I* I: E/ B* q
2.电子枪部份与坩埚部份可分拆。8 b8 p/ w( k: w$ ~
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四.规格与标准:
, c8 f1 c2 N, `1 B# J 输出功率 8KW 10KW $ i1 T3 t( x5 O5 N; c
高压 8KV 10KV * T, }0 S8 A. O: U
发射电流 0~1A 5 ?5 K7 L) p8 k# B' k8 A4 d) {7 B
电子束偏转角 270° & `0 O y/ x8 i9 H+ S
电子束偏转方式 永磁铁
& z. K( v2 t. Z 光斑最大范围 15mm×15mm(X/Y)
% `- p& t b% q7 D0 V2 |/ u! |' @ 光斑扫描范围 15mm×15mm(X/Y)
' L# w' z& U" b1 L# ^ 坩埚 6-φ35×15 8-φ35×15
7 G2 r" o6 q# N; ~) h; }+ s0 |+ Q 容积:12ml 斜度:10°
+ a2 v- g5 F% {: P 外形尺寸 6位:277×133×128
/ Z$ e8 q7 g3 @, B1 s- X% s( f 8位:287×133×128
o$ t: a$ W0 F2 G' A4 y& c* Z3 v- ?2 ^' C$ _2 b. ~* k
五.样品 4 A; T5 \% I& h: e6 ? B
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