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成都威特南光真空科技有限公司新型电子枪研制成功
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" v ~( z2 w T/ l! {+ {6 s7 \一.电子枪发出的电子束,通过永磁发生270°偏转,正对坩埚垂直打在蒸发物上
9 C# [, F% Z) m5 [3 K% b 1.由于电子束是垂直打在蒸发物上,这样就有效的利用了蒸发物。 8 H) n/ \; h5 i5 F
2.电子束偏转为270°,避免了因爆料给灯丝带来的污染。
2 n8 c G0 }1 V" S9 ~5 f0 [, a 3.永磁安装在水冷板上,能够避免因温度升高而影响磁场,从而稳固了光斑的位置。 $ F9 p/ A1 r" G* I% A" } e
二.电子枪中装有具扫描功能的电磁线圈,其作用是将光斑打在坩埚蒸发物表面。 5 W8 W% b( H( W7 H& C
1.光斑可调整至坩埚内蒸发物表面的任意位置。 + j" l' F E! T# K" f
2.通过扫描功能可调节光斑的大小,使其膜料可得到大面积均匀的蒸发。提高了膜层的均匀性,同时也提高了生产效率。
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) ]; \4 e% F& V7 ~6 V3 }' T三.电子枪构造牢固,易维护。
! w9 u$ g$ `( k 1.坩埚防污盖及坩埚均可从上方拆卸。 3 R& c: H' H& o
2.电子枪部份与坩埚部份可分拆。' s3 P- G/ ~& y) p( G
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四.规格与标准:
7 {$ I+ l8 x3 m! \6 h' [ 输出功率 8KW 10KW / ^2 H0 t5 Y* d1 w) s+ c- e( i
高压 8KV 10KV
( Q8 t6 Q) g7 [+ B3 r# S+ k- w 发射电流 0~1A
6 x) f% ?" a0 ^$ x 电子束偏转角 270°
% S, O" T# j: K. I2 } 电子束偏转方式 永磁铁 8 s+ ]& z( U( {4 K1 c1 N2 Z' U
光斑最大范围 15mm×15mm(X/Y) 5 I/ o V6 l: M
光斑扫描范围 15mm×15mm(X/Y) ! \# E7 V& Y9 T5 O- N1 n7 `6 b+ ~" J
坩埚 6-φ35×15 8-φ35×15 7 g" v, F# |- A! B" F" L3 C
容积:12ml 斜度:10°
4 m/ o# t+ n+ b; Z6 S 外形尺寸 6位:277×133×128 . u$ c1 A5 ]# v
8位:287×133×128 / }0 V$ A2 f4 H( [! t2 ]
! y/ \& N; y- w1 s- \* D五.样品 ( x+ ]4 ]1 H) b/ L# {: N
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