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新型电子枪研制成功

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发表于 2006-1-5 11:19:14 | 显示全部楼层 |阅读模式
成都威特南光真空科技有限公司新型电子枪研制成功
* m& x* D' L+ J7 H    T+ z/ g& e, ~9 x6 O7 D; \0 V
一.电子枪发出的电子束,通过永磁发生270°偏转,正对坩埚垂直打在蒸发物上  
: c) R+ f3 `& n0 X; [- o% C 1.由于电子束是垂直打在蒸发物上,这样就有效的利用了蒸发物。     
7 f8 l$ `" Z. k/ S6 X" P" ` 2.电子束偏转为270°,避免了因爆料给灯丝带来的污染。      
) B8 H0 u4 s/ f9 r3 ` 3.永磁安装在水冷板上,能够避免因温度升高而影响磁场,从而稳固了光斑的位置。   ' s' t6 k$ X) B: t
二.电子枪中装有具扫描功能的电磁线圈,其作用是将光斑打在坩埚蒸发物表面。  
' O5 e; ~% ]+ A, o, ?: r: H: l 1.光斑可调整至坩埚内蒸发物表面的任意位置。       : E1 v" c  F+ I( ]' r8 E/ a7 F; j
2.通过扫描功能可调节光斑的大小,使其膜料可得到大面积均匀的蒸发。提高了膜层的均匀性,同时也提高了生产效率。) i# J0 ^( j1 k, u' {9 n; h

8 x, c( @( @) A9 |* U三.电子枪构造牢固,易维护。  
+ ]: f# w, A8 S+ ?  l% ` 1.坩埚防污盖及坩埚均可从上方拆卸。       5 A2 ~8 J; v: P2 Z
2.电子枪部份与坩埚部份可分拆。( h% u) ^2 ?8 i8 q/ g
3 L3 m  b2 y4 i6 m; ?2 U3 m+ O6 J
四.规格与标准:            
$ L/ }# _9 i3 S5 L' b5 o) T 输出功率     8KW       10KW         & a% ?1 P& M0 l8 I
高压             8KV        10KV    
2 ]+ O" r: e4 y7 X! c, j3 L 发射电流          0~1A      : T& M; Y& W- y4 \* Q+ Z
电子束偏转角           270°      
5 K% c6 o. {4 z* R) H9 A$ r9 L 电子束偏转方式       永磁铁      2 C+ N3 K6 P: ]2 q3 K
光斑最大范围       15mm×15mm(X/Y)    
  X: ]( m  S9 B/ U& e0 a 光斑扫描范围       15mm×15mm(X/Y)    
' O( n  \' `4 R 坩埚         6-φ35×15     8-φ35×15     : @0 y! u0 y% s8 R; ?
          容积:12ml     斜度:10°  6 r" `1 H- S4 O* I1 }8 s) y
外形尺寸      6位:277×133×128    % h3 C: `+ u4 Q
          8位:287×133×128    
, Z, F4 j  d# ]: ?  h! V7 S" s/ S
五.样品
) \, f7 G! P+ N: b9 |9 P4 p, U& f" P

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发表于 2006-1-26 15:08:11 | 显示全部楼层
是不是仿制的???' A) R' z* s! b
和我们的枪好像啊,,," C5 |) n4 A  Q! I1 z
嗯。。。原理是一样的。。
发表于 2007-5-21 23:49:17 | 显示全部楼层
可以对比一下,呵呵

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