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成都威特南光真空科技有限公司新型电子枪研制成功+ ]5 X( `! [' q( l. [- t
4 u+ l# V9 e; B4 z% ]) n4 l+ u一.电子枪发出的电子束,通过永磁发生270°偏转,正对坩埚垂直打在蒸发物上 # Q }% R- P* S
1.由于电子束是垂直打在蒸发物上,这样就有效的利用了蒸发物。 ) L& k. { Z$ _6 w
2.电子束偏转为270°,避免了因爆料给灯丝带来的污染。
& z* G4 e+ A; Z 3.永磁安装在水冷板上,能够避免因温度升高而影响磁场,从而稳固了光斑的位置。
- S w+ {4 P( u+ L二.电子枪中装有具扫描功能的电磁线圈,其作用是将光斑打在坩埚蒸发物表面。 : O9 r0 q4 j7 ^$ A, }# z
1.光斑可调整至坩埚内蒸发物表面的任意位置。
! Y9 G# ?; c- P& V H" z 2.通过扫描功能可调节光斑的大小,使其膜料可得到大面积均匀的蒸发。提高了膜层的均匀性,同时也提高了生产效率。. P6 Q8 `3 ^# b2 [/ W
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三.电子枪构造牢固,易维护。
* ?1 f* f! _* f* x5 C: _, a 1.坩埚防污盖及坩埚均可从上方拆卸。 ! l& a' X$ R# H2 @$ n9 Z+ R2 {
2.电子枪部份与坩埚部份可分拆。
) ^0 a; L8 l4 g. i7 r9 p3 _: H" s+ y: I7 H9 a1 Z
四.规格与标准: ) R+ N5 l @) P* ]
输出功率 8KW 10KW
1 K" E5 N2 X8 t9 i 高压 8KV 10KV 6 x! F( h# s; Q+ C8 z& K: @
发射电流 0~1A % u; l3 U4 Z' }
电子束偏转角 270° / M: s7 _- o+ J- h- @9 z. _
电子束偏转方式 永磁铁 6 a; I; N/ L, w- E
光斑最大范围 15mm×15mm(X/Y) & i, _( s# S1 ?7 `: f2 p6 u4 ~
光斑扫描范围 15mm×15mm(X/Y)
7 D3 ~- i8 a! a- A 坩埚 6-φ35×15 8-φ35×15 % ^; H& E, d0 o- F
容积:12ml 斜度:10° 7 N2 A' p# q W( z" i
外形尺寸 6位:277×133×128
% } X/ B( j+ X7 d. }& n, Z 8位:287×133×128
) v7 e) ?2 i! C6 L% _* }6 a# s/ h, o/ ^& e' c
五.样品 4 H# O$ o. ?# j" y
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