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成都威特南光真空科技有限公司新型电子枪研制成功0 ]& k+ N) P5 a K. R* n
* P& R9 B" d! c' {一.电子枪发出的电子束,通过永磁发生270°偏转,正对坩埚垂直打在蒸发物上 . H; V( o: P0 i
1.由于电子束是垂直打在蒸发物上,这样就有效的利用了蒸发物。
" V# o. J, h1 f0 ^2 n" ^& {- W 2.电子束偏转为270°,避免了因爆料给灯丝带来的污染。 ! N0 z2 v6 ^: n* q
3.永磁安装在水冷板上,能够避免因温度升高而影响磁场,从而稳固了光斑的位置。 k4 Z2 W6 o; @$ ~2 o8 P2 P
二.电子枪中装有具扫描功能的电磁线圈,其作用是将光斑打在坩埚蒸发物表面。
+ e) G2 w6 I4 S/ j9 b& ]' `1 y5 _$ s g 1.光斑可调整至坩埚内蒸发物表面的任意位置。
+ N8 U8 G: |% ?) j; e% U* p 2.通过扫描功能可调节光斑的大小,使其膜料可得到大面积均匀的蒸发。提高了膜层的均匀性,同时也提高了生产效率。% x# g6 s- y5 ~3 ]% B+ F! v: ?3 ]. e
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三.电子枪构造牢固,易维护。
5 ~; r0 V% v1 s. H {# Z 1.坩埚防污盖及坩埚均可从上方拆卸。 1 o, B/ X' O* A2 F* q6 F
2.电子枪部份与坩埚部份可分拆。
- F2 B8 @+ I' V" m5 z& Z# [4 ~( L C) v5 }- o5 f% H; r, @8 d
四.规格与标准:
) |9 v( v5 @3 v4 H2 a 输出功率 8KW 10KW
3 s; _6 x1 `# Z0 q- ]# p$ b- f 高压 8KV 10KV
6 `* S; Z5 \/ F$ k- ]% B5 |3 X ^ 发射电流 0~1A , u0 o. g& s' _3 Y
电子束偏转角 270° . T" l( }- e0 A T2 g: S6 [
电子束偏转方式 永磁铁
- c( k$ }( I6 U( Z 光斑最大范围 15mm×15mm(X/Y) ; m* q8 M7 a; F
光斑扫描范围 15mm×15mm(X/Y) 9 \9 {# O, W3 H" k; T% K
坩埚 6-φ35×15 8-φ35×15 5 }- r2 W3 t- O( x1 [
容积:12ml 斜度:10°
- J2 x# D) ?. T 外形尺寸 6位:277×133×128 7 F' t+ R, n+ p& \# }7 a7 {! t& ^8 h
8位:287×133×128 ( ^" R6 `: o ?/ w
) f8 c- k4 F3 {; ?五.样品
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