晶控仪 XDM-3K

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大家好，
* i+ Y) F2 x3 h; b2 j4 B& \) j+ K上海膜林科技有限公司的新一代晶控仪 XDM-3K，全中文触摸屏，操作简单，含有多项专利技术，国产镀膜机轻松实现自动化。表现优异，详情请见公司网站：morningtech.cn
2 D- G* Z( j3 b* l欢迎 各位不吝赐教，帮助我们进步，也帮助大家共同进步。

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公司网站 morningtech.cn 内有问答形式的晶控介绍，欢迎批评指正.

3 q+ ?/ \; x  P) x问：影响速率稳定性的因素有哪些？
" K) E' P5 y2 Y* W要从速率的形成、检测、控制这几个方面来看这个问题。
- \) L+ \) I# ~5 m: C/ ?从蒸发源来看，电子枪灯丝、焦斑、扫描、材料状态（包括放气、高低、挖坑、多少、熔融等）、电极的连接情况、坩埚的冷却、离子源辅助情况等都有影响。这些因素不仅影响速率稳定性，而且会影响蒸发功率的大小。
速率检测方面，晶振片的状态（在XDM中可参考阻力损耗值）、电极连接状态、晶振片附件是否有漏气、真空度是否稳定、探头冷却水是否通畅等。
0 Q/ \5 ^' S# Z控制方面，要看材料的PID参数的合适程度。
可见，即使同一台机器，不同工艺及状态，要达到同样的速率控制，PID参数也可能不一样。幸运的是，PID参数的容差较大，即一般情况下，PID参数无需做很多调整，也能较好的对应多个状态。

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问：如何调整PID参数？
' S7 s% k. D  [- T# ]' {) \在上述影响速率稳定性因素中，其他参数相对稳定的情况下，PID参数是否设置合理，才最终决定能否实现快速稳定可重复的速率控制。
(图形 a,b,c,d请参见 网站 morningtech.cn )
6 A6 i& d$ g. \* y! h- i+ |( c+ O& p(a)速率过冲大，减小 P。若仍过冲，减小I，增强积分作用。
5 D7 n5 \2 U0 i7 [# a% f* W(b)偏差明显，减小 I，增强积分作用。
(c)起动时间长，增大 P，减小I，增强积分作用。
(d) 振荡，增大I，减弱积分作用。若仍振荡，增大P。
) @: L6 n- K1 Y( p7 o" d上述是一般规律。鉴于晶控初始阶段的特殊性，起始速率过冲及起动时间长，预熔功率、挡板延迟、最大功率延迟、电子枪灯丝及坩埚等关系也比较大。

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上个某用户用XDM-3K的成膜曲线图，速率与厚度全部由XDM-3K全自动控制，一个晶振片做到底。

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可用晶振片     6MHz      
频率范围     5MHz~6MHz,
- k1 r  F/ e) O频率分辨率     0.005Hz      
2 x% t$ h* F: I: f9 ^频率稳定度     1ppm      
2 f, O6 L0 w9 ?5 O$ O7 S$ X( S膜厚分辨率     0.002A     
% z# ]2 T2 w2 O$ f% k测量更新率     10Hz
材料数     112
膜系数     20, 可自动串接
: Z5 Y( C7 o0 ~+ Z! j可设定层数     112层/每膜系
+ z8 t" w, f- h0 }1 v/ u1 ^/ f可控制蒸发源数     3个, 0~10V, 16bit
: T& A( L! f" i0 l9 v数字输入     8路兼容LVTTL，功能自定义
$ w" g" O4 [+ \+ s5 V# F1 O  ~数字输出     10路常开继电器，功能自定义
探头数     1，支持六探头      
电源     90V~240V,AC, 20W
主机尺寸 XDM-3K     438*88*300 (mm,标准工业机柜宽， 2U高度, 深300mm)
/ z0 y& W7 w' g' O& g控制方法     PID     
语言     多国语言(中、英、…)         
3 Q8 O  m! B* e+ ^0 [/ H通信接口     RS232   

我只用大宝

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我们公司将参加2014年9月2日-5日的深圳光博会，展位7H19，欢迎您到现场指导我们将膜厚过程控制(晶控)做得更好；
我们也将参与2014年10月20-24日 在同济大学召开的第三届光学薄膜前沿国际会议
! Y+ {- {' j) W3 {, C6 V; M

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2014.10.20~24 第三届光学薄膜前沿国际会议(foc 2014) 同济大学中法中心
* `# |" r6 A9 ?! g; T) V; xOct. 20th, 2014 ---- Oct. 24th, 2014 Sino-French Center, Tongji University
会议日程表 请去会议网站 或 我司网站下载 morningtech.cn
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2014.10.22 17:10~18:10， 张贴报告 PII-4，与您相约.  Shanghai MorningTech

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上个晶控仪的图片
可以去本公司网站浏览更多关于此晶控的信息 www.morningtech.cn

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上海膜林系列晶控仪精度高，稳定性好。
8 \; H# o. Q& F# q% J功能强大，操作简单。
上海膜林科技有限公司竭力提供最优秀的光学镀膜膜厚过程控制，让镀膜简单起来。