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发表于 2013-12-8 20:35:49
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可用晶振片 6MHz 1 h' H v: ]3 h) w' \
频率范围 5MHz~6MHz, 0 X' q* u7 F' ^
频率分辨率 0.005Hz + v( J* c4 K/ U3 C
频率稳定度 1ppm
5 ~$ |+ m% H* `& a C膜厚分辨率 0.002A
: y1 u1 t$ J; L/ ~9 S测量更新率 10Hz ) D# E9 q6 Y, c: t
材料数 112 ; M6 j# l1 Q0 @- n& @& j* J( Z
膜系数 20, 可自动串接
. i7 l" W# U2 T( H" v可设定层数 112层/每膜系
; M* Y' ~4 B7 q9 s3 |可控制蒸发源数 3个, 0~10V, 16bit
4 |. U$ \0 ?( }6 ~3 h" a数字输入 8路兼容LVTTL,功能自定义 & T$ q, F! V, y( H2 Y! L+ }5 e
数字输出 10路常开继电器,功能自定义 ' ]8 a* p( ]/ W8 V# ~/ }
探头数 1,支持六探头 ! U! F& U/ w6 Q( Z0 h9 b
电源 90V~240V,AC, 20W
7 I3 o8 @9 l; p3 v主机尺寸 XDM-3K 438*88*300 (mm,标准工业机柜宽, 2U高度, 深300mm)
- u: M! Z; k! b控制方法 PID
; X/ Z# V3 N% t, I语言 多国语言(中、英、…)
1 K, Z! W+ F$ U通信接口 RS232 |
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