硅基片上镀3-14UM红外增透膜

oceanwave2013 · 发表于 2013-10-31 09:43:29

要在硅片上镀3000-14000nm的增透膜，T>95%,有没有什么好的工艺和方法？

oceanwave2013 · 发表于 2013-11-1 08:06:52

一天了，没人回复

oceanwave2013 · 发表于 2013-11-4 08:22:43

继续没人回复

oceanwave2013 · 发表于 2013-11-5 15:01:58

oceanwave2013 · 发表于 2013-11-13 13:46:00

tangtang0427 · 发表于 2014-2-19 13:30:11

为什么不考虑自己用TFC或者其他软件模拟一个膜系出来呢？

xiaohuilee · 发表于 2014-3-6 18:35:00

GE ZNS 镀膜

加菲兔 · 发表于 2014-8-3 11:48:08

用氟化钇做外层增透，但牢固度是问题，此外，那么宽的范围都大于95%可能难点。

cqzxcl · 发表于 2014-8-4 09:07:55

主要难点在于膜层不牢会掉膜

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