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[求助] 请问设计的膜系需要几十层的,实际如何蒸镀?中间如何补充膜料?

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发表于 2013-10-11 00:25:16 | 显示全部楼层 |阅读模式
请问设计的膜系需要几十层的,实际如何蒸镀?中间如何补充膜料?是否国内设备无法完成此类膜系,需要国外设备?

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发表于 2013-10-11 08:54:54 | 显示全部楼层
层数多少关系不大,最主要是要看整体的膜厚度是多少?  @3 x( v  W7 E) _
把抢做大些,膜料装多些就够了
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发表于 2013-10-11 10:05:17 | 显示全部楼层
现在的坩埚都有好几个呢   除非你是单坩埚的
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发表于 2013-10-20 14:07:23 | 显示全部楼层
那只能用多坩埚的,多加些膜料,现在的莱宝和光驰都是20多个坩埚的,基本可以读到100层左右,一般都是光控* B- j5 _3 m4 V2 e, C
如果坩埚实在少,那只能充气退出,装料,接着镀罗
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发表于 2013-11-8 17:00:46 | 显示全部楼层
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发表于 2013-11-25 00:40:00 | 显示全部楼层
现在稍大的镀膜机都是至少两把枪,一把枪对20穴坩埚(TiO2),一把枪对环形坩埚(SiO2),材料肯定够用了!
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