请问设计的膜系需要几十层的，实际如何蒸镀?中间如何补充膜料？

copland · 发表于 2013-10-11 08:25:16

请问设计的膜系需要几十层的，实际如何蒸镀?中间如何补充膜料？是否国内设备无法完成此类膜系，需要国外设备？

280870377 · 发表于 2013-10-11 16:54:54

层数多少关系不大，最主要是要看整体的膜厚度是多少？
把抢做大些，膜料装多些就够了

大大鸟鸟 · 发表于 2013-10-11 18:05:17

现在的坩埚都有好几个呢除非你是单坩埚的

pfc537 · 发表于 2013-10-20 22:07:23

那只能用多坩埚的，多加些膜料，现在的莱宝和光驰都是20多个坩埚的，基本可以读到100层左右，一般都是光控
如果坩埚实在少，那只能充气退出，装料，接着镀罗

27676995 · 发表于 2013-11-9 01:00:46

rollo_tomasi · 发表于 2013-11-25 08:40:00

现在稍大的镀膜机都是至少两把枪，一把枪对20穴坩埚（TiO2），一把枪对环形坩埚（SiO2），材料肯定够用了！

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