如何用双离子束溅射制备低吸收的hfo2薄膜

wangluoshu

一直在做用双离子束溅射制备氧化铪薄膜，总是吸收很高，氧气多了反而吸收也高了，搞不懂什么原因，氧气少了氧化不充分会吸收高，怎么氧气多了也吸收高了？有没有做过的帮帮我，急着交毕业论文呢！谢谢哈！

aoyq2007

可以考虑下你的设备的抽空效率，比如机械泵加扩散泵组合抽空效率最高的时候是在2.0X10-2Pa左右的时候，如果充氧使真空回升到这个真空度附近时，就容易出现这种情况，随增加了氧气流量，但氧化仍然不完全。
可以考虑在离子源工作气体中通入一定量的氧气，或者直接使用氧气来工作。
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pfc537

我们公司买了个金属HF靶材，结果在睡觉，不好做啊，
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同意一楼意见

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tigon327

吸收高了多少？
! s+ ?  z$ |* S5 x绘条曲线来研究下
我是做薄膜吸收测试的，据我所知，吸收测试的不确定度都在15%左右，楼主的问题是否在误差以内？