|
|
发表于 2013-5-4 06:55:11
|
显示全部楼层
0 m* ?5 d( G3 R离子源辅助磁控溅射沉积SiO_x阻隔薄膜的研究; d) f! f! q$ \
# p. t! X# V+ q) V0 N2 g% n
Study on SiO_x Coating Deposition by Magnetron Sputtering with Ion Beam Assisted. ]! z! W! X* j# Z# V8 q
1 P1 d0 w: W5 u1 m分页下载 M) h0 p* |4 u9 ]0 h
分章下载 + k( g' ~7 Y( c( N0 }
整本下载 7 u( W4 c+ c$ _2 M! u' a0 O. Y' A! u) [1 Z
在线阅读 ( W2 C6 |( I) F+ F6 o- E1 ]
& l W2 f6 G' m0 H: V
不支持迅雷等下载工具。 1 Q, F1 o4 Q, |8 ?1 m0 D
- c! ^; m1 r% b" V
免费订阅
' s; f4 }$ R# M3 ]5 P+ ]% U$ X5 F) O) L2 @
% o9 n' Y- K: r* O, S: n& G
}* J0 `/ N8 E5 ^6 v2 L. @: o【作者】 韩尔立； * y$ X; ~) j$ R- Y( R
0 N4 A. Z( b2 p# T5 |) B# w* j+ V* W
【导师】 陈强； 葛袁静；
2 M9 T9 I, b h' Z! g; q1 \
7 r! z5 ]% i, j* o4 s) v/ U【作者基本信息】 北京印刷学院， 材料物理与化学， 2006， 硕士
7 S8 E9 Z& q& K0 d& j$ o( M) N9 P" c, W
【摘要】 食品保质保鲜要求包装材料具有优良的阻隔性能,即阻止水蒸气和气体渗透的性能。镀 SiOx 阻隔材料具有足以与镀铝材料相媲美的阻隔性能,同时又具有可见光透过和微波直接加热的特性,因而成为包装材料发展的一个热点方向。对PET、BOPP、PE 三种常用包装薄膜基材进行实验比较,选择 PET 作为 SiOx 阻隔膜沉积基材。采用电子束蒸镀和磁控溅射两种沉积工艺在不同工艺参数下制备SiOx 阻隔薄膜。所沉积薄膜用表面轮廓仪进行膜厚测试,并进行了薄膜均匀性测试。利用 FTIR,SEM,XPS ,XRD 分别对沉积膜的结构,表面形貌,元素组成等进行了表征。并考察了离子源辅助对磁控溅射沉积薄膜的影响。研究结果如下:1. 薄膜均匀性测试显示,磁控溅射均匀性较好,在片内均匀性、片间均匀性和炉间均匀性上均优于电子束蒸镀法。2.薄膜表面形貌分析显示,电子束蒸镀沉积的 SiOx颗粒粗大,表面缺陷较多,而磁控溅射沉积 SiOx薄膜均匀致密,但仍有微裂纹,经离子源辅助后裂纹大大减少,甚至消失。3.XRD 测试未显示衍射峰,表明所沉积薄膜为非晶态,可能的薄膜生长方式为岛状生长,形成不连续的无定性非晶态结构。4.用电子束... 更多" }7 j" ~8 U; ~/ ^6 b5 H, @
% R7 e8 w+ D3 y1 [7 R$ t
( {9 N$ U1 w0 k2 w/ J! C【关键词】 SiO2阻隔薄膜； 电子束蒸镀； 磁控溅射； 离子源辅助； : E) r* L9 |' T3 T, X6 C0 }
http://pan.baidu.com/share/link?shareid=462417&uk=2013391093
, O8 m' o. m5 z- R3 V. Q0 ], ?" e2 h2 Q% B
' V& n0 n1 s1 \: [* ?6 h8 t: ^
|
|
窥视卡
雷达卡
提升卡
置顶卡
沉默卡
喧嚣卡
变色卡
抢沙发
显身卡