薄膜之间的结合力

龙腾天下 · 发表于 2013-4-12 09:03:19

请问大家如何判断镀膜层时，薄膜之间是否用易脱落？膜层之间的结合情况是与镀膜材料有关还是镀膜所采用的工艺有关？

bomoaa · 发表于 2013-4-12 21:47:21

是薄膜应力吧，有的材料是压应力，有的是张应力，要搭配好，与工艺关系大

龙腾天下 · 发表于 2013-4-14 16:57:30

谢谢！

请问一下，接判断两种材料之间是否会出现脱膜现象是主要关注材料的参数还是凭经验？如果是关注材料的参数的话，主要是关注材料什么参数？

bomoaa · 发表于 2013-4-15 17:50:01

调整工艺参数，如离子源电压，充气量，沉积温度等，使高低折射率材料应力匹配，一般不易脱膜

copland · 发表于 2013-4-28 12:31:45

和材料本身的特性、镀膜工艺等都有关系，要综合考虑

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