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[转贴] LED UV光刻光源

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发表于 2013-3-27 07:36:58 | 显示全部楼层 |阅读模式
深圳市蓝谱里克科技有限公司,致力于提供紫外线全行业解决方案,我们的芯片光谱覆盖紫外全波段265nm 280nm 310nm 340nm 365nm 375nm 385nm 395nm 405nm。在集成电路制造领域我们进行了长期的探索和研究,研制开发了系列LED UV光刻光源产品,在线性精密扫描曝光和面形整体曝光领域已得到应用,随着研究进一步深入,LED UV光刻光源会更加完善!
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LED UV光刻光源的优势:4 m- B' O: x) |3 h4 }
1.LED UV光谱集中、能量集中# i# b* A) K; A) }
2.专利光学配光,保证光照均匀+ \& S8 h9 ?& Y) E+ C4 M
3.大功率芯片集成,保证紫外能量充足                          
6 t: u# J8 |) r! ^5 ^) G( ?, N4.冷光源照射,热辐射很小
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 楼主| 发表于 2013-3-27 07:37:57 | 显示全部楼层
LED UV光刻光源产品在线性精密扫描曝光和面形整体曝光领域已得到应用
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