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[转贴] LED UV光刻光源

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发表于 2013-3-27 07:36:58 | 显示全部楼层 |阅读模式
深圳市蓝谱里克科技有限公司,致力于提供紫外线全行业解决方案,我们的芯片光谱覆盖紫外全波段265nm 280nm 310nm 340nm 365nm 375nm 385nm 395nm 405nm。在集成电路制造领域我们进行了长期的探索和研究,研制开发了系列LED UV光刻光源产品,在线性精密扫描曝光和面形整体曝光领域已得到应用,随着研究进一步深入,LED UV光刻光源会更加完善!
8 k& U# Z6 V6 r& i* Y+ S9 `: e- D0 c; @" v! A4 |) i$ y
LED UV光刻光源的优势:
5 [* J. G5 b6 ]8 \1.LED UV光谱集中、能量集中- h3 z# J% D4 Z, H& C
2.专利光学配光,保证光照均匀
2 J# j: i- X8 w3 T* Q0 {/ ^) K3.大功率芯片集成,保证紫外能量充足                          2 q1 a! e3 D9 B' ]% g
4.冷光源照射,热辐射很小# @( i& p2 s) |- t  o9 y
5.即开即关、无需预热
# j0 s/ b& j! H$ o! l; C6 A) u9 T5 l/ {3 F& Q; C9 f. W, t

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 楼主| 发表于 2013-3-27 07:37:57 | 显示全部楼层
LED UV光刻光源产品在线性精密扫描曝光和面形整体曝光领域已得到应用
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