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[转贴] LED UV光刻光源

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发表于 2013-3-27 07:36:58 | 显示全部楼层 |阅读模式
深圳市蓝谱里克科技有限公司,致力于提供紫外线全行业解决方案,我们的芯片光谱覆盖紫外全波段265nm 280nm 310nm 340nm 365nm 375nm 385nm 395nm 405nm。在集成电路制造领域我们进行了长期的探索和研究,研制开发了系列LED UV光刻光源产品,在线性精密扫描曝光和面形整体曝光领域已得到应用,随着研究进一步深入,LED UV光刻光源会更加完善!; A8 S" q, j+ M1 W" C8 X6 d
3 U; ]9 a2 r- X4 f2 ]" P
LED UV光刻光源的优势:
. y$ Q; H; i! i- X1.LED UV光谱集中、能量集中  O* c: R, q3 y; y* O7 u2 u6 r
2.专利光学配光,保证光照均匀
, A; J" n1 D+ t) n$ v) P3.大功率芯片集成,保证紫外能量充足                          / w) L  e  o' m7 i3 Q4 A
4.冷光源照射,热辐射很小
1 R8 M4 c3 k3 h5.即开即关、无需预热   ?  X9 r; h4 i1 f% |: q; x. @* d- @

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 楼主| 发表于 2013-3-27 07:37:57 | 显示全部楼层
LED UV光刻光源产品在线性精密扫描曝光和面形整体曝光领域已得到应用
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