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伯东公司德国Pfeiffer HLT 560 氦质谱检漏仪用于电磁阀阀芯检漏应用案例-深圳某事业有限公司! t; I6 E; x# C% u9 ~; R# r
一、 电磁阀阀芯检漏原因4 \! u" R3 e T! o" g1 e; u; x
该客户是为日本某半导体设备厂生产精密零件激光焊接(电磁阀阀芯),一共有5个型号,月产量2000-3000个阀. 精密零件激光焊接(电磁阀阀芯)产品如下图:# n3 g$ r2 i; o, `3 G, h
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6 ^ R0 r2 X8 i: K2 v: a 由于半导体工业上用的气体如硅烷( SiH4), 氨气(NH3)等等都是有毒或有腐蚀性的气体,所以对所用的阀及相关部件, 漏率要求非常严格, 要求成品最终漏率低于5-10 mbar l / s, 而这样的漏率要求也只有氦质谱检漏仪能达到了.- k# X5 I+ S2 c7 ^ a0 S+ o' E
二、 电磁阀阀芯检漏方法+ N9 \7 o: _) E, v- S
大概的检测过程为:来料用放大镜目视检测,激光焊接完成后再目视检测,最后用氦气质谱检漏仪做最后检测,漏率值以氦气检漏仪测出的数据为准.; V# m/ N2 s H4 s
客户以前用的是日本某品牌的检漏仪,现在新上的项目都改为德国Pfeiffer的HLT 560这一款检漏仪,这是因为,只有德国Pfeiffer的HLT 560能满足这么高的漏率值测试,且数据可靠.另外还具有操作简单,生产效率高的优点.
6 G- q" b h5 ~1 Q* w: c 三、电磁阀阀芯检漏操作说明
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1),先将阀接入工装,形成一个密闭的腔体.再将检漏仪连接到工装上./ |4 ^* c$ {% k. y) }
2),启动氦质谱检漏仪, 检漏仪开始抽取密闭腔体中的气体,同时显示一个漏率值.. C4 V( m. d0 y+ \
3),在激光焊缝和怀疑有漏的地方喷氦气,同时观察检漏仪上显示的漏率值有无变化.( n1 z9 } H$ O( X% c/ s
4),如果漏率值上升,说明喷氦气的地方有漏,该被检对象质量不合格.如果漏率值能达到要求,该被检对象合格,检漏检测完成.
/ G; W* m7 @) p V. q& N 氦质谱检漏仪用于直通阀检漏
9 `. o# e1 O% {! {$ q) j 一、阀门检漏需求
" j5 } S) K7 J. K! U f4 ` 阀门的密封性能是考核阀门质量优劣的主要指标之一. 所以在设计生产阀门时就要提高其密封性能, 并且在出厂前最后一道工序应对阀门做密封性检测. 目前国内许多阀门厂家使用水检法和气压法进行气密性检测, 但是使用此方法只能检到漏孔比较大的情况, 一般最小可检漏率1X10E-3 mbar l/s. 但随着客户对产品质量要求的不断提高, 水检法和气压法已经无法满足要求. 为了保证产品竞争, 许多厂家引进了氦气检漏仪, 对于目前常用的检漏方法, 氦气检漏法被公认为最先进可靠的方法之一.5 j1 v' y% l0 a0 R5 }
而德国Pfeiffer 氦质谱检漏仪具有体积小、重量轻、内部模组化设计、检测维修方便、使用简单、一键式操作等优点受到广大客户的青睐.5 ^, {, c% R, s9 F0 v) ?
上海阀特流体主要生产销售各种自动控制阀门, 部门产品出口到国外. 如下图所示为该司生产的直通阀, 用于有毒气体设备, 为了作业人员安全及避免环境污染, 客户要求出厂前对阀门做气密性检测.二、阀门检漏方法
4 @% W% q' O4 X% [' z' f0 k Pfeiffer HLT 系列氦质谱检漏仪同时拥有两种检漏模式, 真空模式 (vacuum mode)及正压模式 (sniffer mode), 可根据客户不同需求, 选择不同的检漏方法. 阀门多采用检漏仪的负压模式既真空模式检漏, 其最小可检查漏率为5X10-12 mbar l/s.
" C2 [1 g/ k3 m! [7 o7 V 三、阀门检漏操作
9 q' k' D+ `1 L0 k* y1 u 1. 如下图所示, 工作人员用波纹管连接待检测的直通阀与德国Pfeiffer HLT 560氦质谱检漏仪.7 N [& V, ?! y( H
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2. 启动DUO 旋片泵, 直通阀抽真空, 同时启动氦质谱检漏仪并显示一个漏率值. 当旋片泵抽真空到达一定真空度(最高背压为 25 mbar业界最高)时, 可以进行检漏操作.+ F- u! w- r$ L: D0 E, `+ i& w& B
3. 如下图工作人员向直通阀密封处和怀疑有漏的地方喷氦气, 同时观察检漏仪上显示的漏率值有无变化.
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4. 如果漏率值上升, 说明喷氦气的地方有漏, 该被检对象质量不合格. 如果漏率值能达到要求, 该被检对象合格, 检漏检测完成./ Q/ m) y# N( ~3 q9 x
投稿企业：
7 Y2 w% a2 P9 | 伯东公司 主要经营产品德国 Pfeiffer 涡轮分子泵, 干式真空泵, 罗茨真空泵, 旋片真空泵; 应用于各种条件下的真空测量(真空计, 真空规管);氦质谱检漏仪;质谱分析仪;真空系统以及美国Brooks CTI Cryopump 冷凝泵/低温泵, HVA 真空阀门, Polycold 冷冻机和美国KRI 离子源,Gamma离子泵.$ I, z! k( Z3 g- H2 G/ R4 W# R
网站: www.hakuto-vacuum.com
- [7 }: V( |/ r TEL: +86 (021) 5046-3511转106 Fax : +86 (021) 5046-1490/ c6 D) d& X) T8 `, o
E-mail: ec@pfeiffer-vacuum.com.cn E-mail: ec@hakuto-vacuum.com |
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发表于 2013-3-18 10:04:36
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