氦质谱检漏仪用于电磁阀检漏、直通阀检漏

bomoaa

　　伯东公司德国Pfeiffer HLT 560 氦质谱检漏仪用于电磁阀阀芯检漏应用案例-深圳某事业有限公司
  一、 电磁阀阀芯检漏原因
0 R6 Y& o  j$ e6 b: _& T4 `3 ?  　　该客户是为日本某半导体设备厂生产精密零件激光焊接(电磁阀阀芯),一共有5个型号,月产量2000-3000个阀. 精密零件激光焊接(电磁阀阀芯)产品如下图:
+ X4 }" x( ]" `. H! s2 }  


7 U0 |! H) n/ M  L  　　由于半导体工业上用的气体如硅烷( SiH4), 氨气(NH3)等等都是有毒或有腐蚀性的气体,所以对所用的阀及相关部件, 漏率要求非常严格, 要求成品最终漏率低于5-10 mbar l / s, 而这样的漏率要求也只有氦质谱检漏仪能达到了.
& I9 a# v4 X/ V3 I8 Y7 q* O  二、 电磁阀阀芯检漏方法
# c. j, c, E8 M. p4 H3 H% J  　　大概的检测过程为:来料用放大镜目视检测,激光焊接完成后再目视检测,最后用氦气质谱检漏仪做最后检测,漏率值以氦气检漏仪测出的数据为准.
$ r9 p& }4 {! N) `  　　客户以前用的是日本某品牌的检漏仪,现在新上的项目都改为德国Pfeiffer的HLT 560这一款检漏仪,这是因为,只有德国Pfeiffer的HLT 560能满足这么高的漏率值测试,且数据可靠.另外还具有操作简单,生产效率高的优点.
  三、电磁阀阀芯检漏操作说明
3 G7 X9 k8 I  m; `' w  
1 b* L& L; O" P' M- p2 r  　　1),先将阀接入工装,形成一个密闭的腔体.再将检漏仪连接到工装上.
! ~: X! B* r) S  　　2),启动氦质谱检漏仪, 检漏仪开始抽取密闭腔体中的气体,同时显示一个漏率值.
  　　3),在激光焊缝和怀疑有漏的地方喷氦气,同时观察检漏仪上显示的漏率值有无变化.
: ~2 n7 e0 R2 J2 ~  　　4),如果漏率值上升,说明喷氦气的地方有漏,该被检对象质量不合格.如果漏率值能达到要求,该被检对象合格,检漏检测完成.
  氦质谱检漏仪用于直通阀检漏
  一、阀门检漏需求
  　　阀门的密封性能是考核阀门质量优劣的主要指标之一. 所以在设计生产阀门时就要提高其密封性能, 并且在出厂前最后一道工序应对阀门做密封性检测. 目前国内许多阀门厂家使用水检法和气压法进行气密性检测, 但是使用此方法只能检到漏孔比较大的情况, 一般最小可检漏率1X10E-3 mbar l/s. 但随着客户对产品质量要求的不断提高, 水检法和气压法已经无法满足要求. 为了保证产品竞争, 许多厂家引进了氦气检漏仪, 对于目前常用的检漏方法, 氦气检漏法被公认为最先进可靠的方法之一.
  　　而德国Pfeiffer 氦质谱检漏仪具有体积小、重量轻、内部模组化设计、检测维修方便、使用简单、一键式操作等优点受到广大客户的青睐.
# K& t7 e# h; B, w2 v- d  　　上海阀特流体主要生产销售各种自动控制阀门, 部门产品出口到国外. 如下图所示为该司生产的直通阀, 用于有毒气体设备, 为了作业人员安全及避免环境污染, 客户要求出厂前对阀门做气密性检测.二、阀门检漏方法
  　　Pfeiffer HLT 系列氦质谱检漏仪同时拥有两种检漏模式, 真空模式 (vacuum mode)及正压模式 (sniffer mode), 可根据客户不同需求, 选择不同的检漏方法. 阀门多采用检漏仪的负压模式既真空模式检漏, 其最小可检查漏率为5X10-12 mbar l/s.
. g' Q4 P& K/ g& s/ u  三、阀门检漏操作
& b7 e! y2 f$ I4 y0 ~5 m  　　1. 如下图所示, 工作人员用波纹管连接待检测的直通阀与德国Pfeiffer HLT 560氦质谱检漏仪.
  
  
9 G7 {5 a$ l* Z+ a" P  　　2. 启动DUO 旋片泵, 直通阀抽真空, 同时启动氦质谱检漏仪并显示一个漏率值. 当旋片泵抽真空到达一定真空度(最高背压为 25 mbar业界最高)时, 可以进行检漏操作.
5 k' N& H) v. E* o( M3 ]  　　3. 如下图工作人员向直通阀密封处和怀疑有漏的地方喷氦气, 同时观察检漏仪上显示的漏率值有无变化.
' Z4 h4 B: O6 y% q  
2 l  `1 }. K( r* C5 w  　　4. 如果漏率值上升, 说明喷氦气的地方有漏, 该被检对象质量不合格. 如果漏率值能达到要求, 该被检对象合格, 检漏检测完成.
5 f4 Q2 X+ f# i/ D) _- p  投稿企业：
5 w/ s2 x1 k! n9 B. |  　　伯东公司 主要经营产品德国 Pfeiffer 涡轮分子泵, 干式真空泵, 罗茨真空泵, 旋片真空泵; 应用于各种条件下的真空测量(真空计, 真空规管);氦质谱检漏仪;质谱分析仪;真空系统以及美国Brooks CTI Cryopump 冷凝泵/低温泵, HVA 真空阀门, Polycold 冷冻机和美国KRI 离子源,Gamma离子泵.
0 ]+ }3 w6 \5 h6 j: y  　　网站: www.hakuto-vacuum.com
  　　TEL: +86 (021) 5046-3511转106 Fax : +86 (021) 5046-1490
  　　E-mail: ec@pfeiffer-vacuum.com.cn E-mail: ec@hakuto-vacuum.com