蒸发镀膜材料

bomoaa · 发表于 2013-3-12 22:45:34

蒸发镀膜是在真空或气氛条件下，用蒸发器加热蒸发物质，使之汽化，蒸发粒子流直接射向基片并在基片上沉积形成固态薄膜。
真空蒸发镀膜是发展较早的镀膜技术，应用较为广泛。从镀膜粒子的条件看，蒸发镀膜不如后来兴起的溅射和离子镀优越，但真空蒸发技术仍有许多优点，如设备与工艺相对比较简单，可沉积非常纯净的膜层，可制备具有特定结构和性质的膜层等等。仍然是当今非常重要的镀膜技术。事实上，蒸镀技术已形成膨大的产业，在各行业中都有广泛应用，占有重要的地位。
蒸发镀膜材料种类繁多，目前市场主要用的就有上百种。制作工艺主要有，晶体破碎，熔融破碎，拉丝，线材裁切，造粒，制粉，压片，浇铸，模压等。产品形状主要有，线材，粉末，不规则颗粒，小圆柱，小球，锥形。

蒸发镀膜原理：蒸发镀膜从物料蒸发输运到沉积成膜，经历的物理过程如下：
1. 采用各种能源方式转换成热能，加热镀料使之蒸发或升华，成为具有一定能量（0.1-0.3eV）的气态粒子（原子，分子或原子团）；
2. 离开镀料表面，具有相当运动速度的气态粒子以基本无碰撞的直线飞行输运到基体表面；
3. 到达基体表面的气态粒子凝聚行核生长成固相薄膜；
4. 组成薄膜的原子重组排列或产生化学键合。

蒸法镀膜材料：蒸发镀膜材料种类繁多，目前市场主要用的就有上百种。制作工艺主要有，晶体破碎，熔融破碎，拉丝，线材裁切，造粒，制粉，压片，浇铸，模压等。产品形状主要有，线材，粉末，不规则颗粒，小圆柱，小球，锥形...
材料清单（按原材料分）：金属材料（单一元素），合金材料（中间合金），氧化物，氟化物，其它膜料，蒸发源。。。

chen1982 · 发表于 2013-3-20 19:56:41

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