等离子技术镀膜

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等离子体原理及应用介绍：等离子体是气体分子在真空、放电等特殊场合下产生的物质。等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、业态、气态3种状态存在，但在一些特殊的情况下可以以第四中状态存在，如太阳表面的物质和地球大气中电离层中的物质。这类物质所处的状态称为等离子体状态，又称位物质的第四态。等离子体中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团（自由基）；离子化的原子、分子；分子解离反应过程中生成的紫外线；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。
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$ K$ b) R: c* v等离子清洗机的应用：

一、金属表面去油污并清洗
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　　金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、键合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。在这种情况下的等离子处理会产生以下效果：
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9 A7 h3 o* o5 s/ N" d/ {- Y% a0 U+ d2 H1.1灰化表面有机层

) e: @5 o9 p4 W2 `( T5 F, q4 J　　－表面会受到物理轰击和化学处理（氧 下图）
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% \: b/ H! ~  o" x－在真空和瞬时高温状态下，污染物部分蒸发
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# ]5 k: X0 q" ^# Z  a7 W　　－污染物在高能量离子的冲击下被击碎并被真空泵抽出

　　－紫外辐射破坏污染物

　　因为等离子处理每秒只能穿透几个纳米的厚度，所以污染层不能太厚。指纹也适用。

$ A- h# _5 ]6 w' @2 h6 d5 \1.2氧化物去除
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　　金属氧化物会与处理气体发生化学反应（下图）

. Q. }& Y" {3 f; e- m9 T% |这种处理要采用氢气或者氢气与氩气的混合气体。有时也采用两步处理工艺。第一步先用氧气氧化表面，第二步用氢气和氩气的混合气体去除氧化层。也可以同时用几种气体进行处理。

! U3 j! B! U  L+ z1.3焊接

　　通常，印刷线路板(PCB)在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除，否则会带来腐蚀等问题。
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1.4键合
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　　好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱，这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。同时氧化层对键合的质量也是有害的，也需要进行等离子清洗。

" W5 t+ e- q% g: P8 f+ \. ?二、等离子刻蚀物的处理
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　　在等离子刻蚀过程中，通过处理气体的作用，被刻蚀物会变成气相（例如在使用氟气对硅刻蚀时，下图）。处理气体和基体物质被真空泵抽出，表面连续被新鲜的处理气体覆盖。不希望被刻蚀部分要使用材料覆盖起来（例如半导体行业用铬做覆盖材料）。

) ~0 X6 q( \$ H8 w) C/ t等离子方法也用于刻蚀塑料表面，通过氧气可以灰化填充混合物，同时得到分布分析情况。刻蚀方法在塑料印刷和粘合时作为预处理手段是十分重要的，如POM 、PPS和PTFE。等离子处理可以大大地增加粘合润湿面积提高粘合强度。
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; \7 I( b8 M; h& \; I) [/ ^三、刻蚀和灰化处理
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聚四氟(PTFE)刻蚀
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　　聚四氟(PTFE)在未做处理的情况下不能印刷或粘合。众所周知，使用活跃的钠碱性金属可以增强粘合能力，但是这种方法不容易掌握，同时溶液是有毒的。使用等离子方法不仅仅保护环境，还能达到更好效果。（下图）
' G) m# o( S+ ~: _1 E. W6 K　　　　　等离子结构可以使表面最大化，同时在表面形成一个活性层，这样塑料就能够进行粘合、印刷操作。
　　　　　聚四氟(PTFE)混合物的刻蚀

　　PTFE混合物的刻蚀必须十分仔细地进行，以免填充物被过度暴露，从而削弱粘合力。
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9 J* f- p! u) L! Z6 e$ F　　处理气体可以是氧气、氢气和氩气。可以应用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和PP等。

9 I# a% b# Y( Y6 d四、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清洗
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& @/ I4 z6 y% V5 J! ~* X　　塑料、玻璃、陶瓷与聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚四氟(PTFE)等等一样是没有极性的，因此这些材料在印刷、粘合、涂覆前要进行处理。同时，玻璃和陶瓷表面的轻微金属污染也可以用等离子方法清洗。等离子处理与灼烧处理相比不会损害样品。同时还可以十分均匀地处理整个表面，不会产生有毒烟气，中空和带缝隙的样品也可以处理。
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4 |1 z( L9 J/ q- o　　· 不需要用化学溶剂进行预处理

. L5 i8 ]* [/ g' g　　· 所有的塑料都能应用

　　· 具有环保意义
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, G- u7 V, t0 w6 A$ l2 ^　　· 占用很小工作空间
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　　· 成本低廉
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6 c6 R. u. X( [2 J+ s0 t, Y　　等离子表面处理的效果可以简单地用滴水来验证，处理过的样品表面完全被水润湿。长时间的等离子处理（大于15分钟），材料表面不但被活化还会被刻蚀，刻蚀表面具有极小的表面接触角和最大润湿能力。

4 W3 z/ z) N  F五、等离子涂镀聚合
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( s* x1 u1 k" |; g　　在涂镀中两种气体同时进入反应舱，气体在等离子环境下会聚合。这种应用比活化和清洗的要求要严格一些。典型的应用是保护层的形成，应用于燃料容器、防刮表面、类似聚四氟(PTFE)材质的涂镀、防水镀层等。涂镀层非常薄，通常为几个微米，此时表面的疏水性非常好。常用的有3种情况

　　· 防水涂镀—环己物
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4 J# @; z5 ]  [5 M2 y　　· 类似PTFE材质的涂镀---含氟处理气体
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　　· 亲水涂镀---乙烯醋酸