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光学薄膜论坛»论坛 › 薄膜工艺 › 薄膜工艺 › ti3o5折射率问题

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[原创] ti3o5折射率问题

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发表于 2013-3-10 02:26:02 | 显示全部楼层 |阅读模式

五氧化三钛折射率为什么总也做不高工艺调整无效请大侠指点

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发表于 2013-11-25 00:54:08 | 显示全部楼层

你们有没有用离子源跟镀？因为用离子源辅助淀积会提高材料折射率！

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发表于 2013-11-26 01:53:12 | 显示全部楼层

蒸发位置还有温度

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发表于 2013-12-6 02:39:09 | 显示全部楼层

离子源，加热温度，蒸发速率和蒸发源离工作盘的距离都能影响TI的折射率

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发表于 2014-8-16 20:17:21 | 显示全部楼层

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发表于 2018-3-31 07:44:54 | 显示全部楼层

我用莱宝试了离子源压力和加热温度折射率也没办法提高

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