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光学薄膜论坛» › 薄膜工艺 › 薄膜工艺 › ti3o5折射率问题
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查看: 1481|回复: 5

[原创] ti3o5折射率问题

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发表于 2013-3-10 10:26:02 | 显示全部楼层 |阅读模式
五氧化三钛折射率为什么总也做不高  工艺调整无效 请大侠指点
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发表于 2013-11-25 08:54:08 | 显示全部楼层
你们有没有用离子源跟镀？因为用离子源辅助淀积会提高材料折射率！
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发表于 2013-11-26 09:53:12 | 显示全部楼层
蒸发位置还有温度
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发表于 2013-12-6 10:39:09 | 显示全部楼层
离子源，加热温度，蒸发速率和蒸发源离工作盘的距离都能影响TI的折射率
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发表于 2018-3-31 15:44:54 | 显示全部楼层
我用莱宝试了 离子源压力和加热温度 折射率 也没办法提高
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