油扩散泵抽速不稳定？

bomoaa · 发表于 2013-3-10 10:25:29

各位大侠，请问油扩散泵如果3年没保养过（仅加油或换油），镀膜室内充气体（固定流量600SCCM），会不会出现镀膜室压力时高时低（从2mtorr到3.2mtorr），也就是抽速不稳定这种现象？因为以前没出现过，当然也可能是漏气，但我想问如果不漏气的情况下会不会出现这种情况？谢谢！

lzh1234 · 发表于 2014-8-17 04:55:33

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