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真空设备产品可分为五大类:
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$ ?: |2 B. C/ X (1)、真空获得设备--产生、改善或维持真空的装置。包括各种获得粗、低、中、高及超高的真空泵和真空机组。
' F- Z$ z E i5 v A、机械真空泵:旋片泵、往复泵、滑阀泵、罗茨泵、分子泵和液环泵等。& Q) W, S% |- g' u% i
B、蒸汽流真空泵:水蒸气喷射泵、油增压泵和油扩散泵等。
- [3 s' q' H* I. M C、气体捕集真空泵:钛溅射离子泵、低温泵、分子筛吸附泵和锆铝吸气泵等。0 b8 |6 o" }8 J6 J) [3 H
D、真空机组:即由产生真空、测量真空和控制真空等组件组成的各类机组。
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' f! z/ J$ T9 K { (2)、真空应用设备~在真空环境下(低于一个大气压的气体状态),应用的各种设备。
# @7 g( f% n' m% H A、真空镀膜机:蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、离子镀膜机和等离子化学沉积装置等。$ H! C' q+ G0 }* A4 i+ z. E( |
B、真空冶炼炉:电阻炉、电子束炉、电弧炉、感应炉和单晶炉等。
) E1 c. X4 |, b1 r C、真空热处理炉:淬火炉、回火炉、退火炉、渗碳炉、渗氮炉和渗金属炉等。
- O& M- w8 R3 W4 f/ l3 B D、其它真空设备:冷冻干燥设备、蒸馏设备、提纯设备、浸渍设备、果蔬保鲜设备、运输设备、空间模拟设备、包装机和钢水脱气装置等。
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* T# o1 E. d3 L( Y# d (3)、真空测量仪器一测量低于一个大气压的气体和蒸气压力的仪器。
/ r# o' K1 j. h: k3 o A、低真空计(测量范围105---102Pa)。1 r* |; w, V j3 N6 c6 s! c
B、中真空计(测量范围l02一l0-1Pa)。3 Y r( W; S+ Z6 E
C、高真空计(测量范围l0-1一10-5Pa)。 w/ t6 _9 ]$ m5 n, |' ?, \
D、超高真空计(测量范围< 10-5Pa)。
* d! {3 _* A" U3 L4 n: s+ y( G( j" s2 B, y' X: l! V$ l# ]
(4)、真空检漏仪一检测真空系统或元件漏孔的位置或漏率的仪器。包括高频火花检漏仪、卤素检漏仪和氦质谱检漏仪等。
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' O D# u+ Y; g& q& C! O, U) r(5)、真空阀门一在真空系统中,用于调节流量、切断或接通管路的元件。包括插板阀、挡板阀、蝶阀、电磁阀、电磁带放气阀、压差阀、球阀、隔膜阀和调节阀等。 |
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