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[原创] 真空设备产品产品分类及特点

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发表于 2013-3-9 07:23:54 | 显示全部楼层 |阅读模式
真空设备产品可分为五大类:: Y' {3 _& ^0 T; {
9 e+ w% s; D' ~1 l
    (1)、真空获得设备--产生、改善或维持真空的装置。包括各种获得粗、低、中、高及超高的真空泵和真空机组。
( V0 C/ U: T5 l    A、机械真空泵:旋片泵、往复泵、滑阀泵、罗茨泵、分子泵和液环泵等。" v' U8 y% h7 o% G' O3 d* X
    B、蒸汽流真空泵:水蒸气喷射泵、油增压泵和油扩散泵等。6 K7 D6 [/ m4 M/ Y
    C、气体捕集真空泵:钛溅射离子泵、低温泵、分子筛吸附泵和锆铝吸气泵等。
1 ~% Y: ^; Y4 ^    D、真空机组:即由产生真空、测量真空和控制真空等组件组成的各类机组。
3 b, w9 {  s  P9 D4 Y& D) y: k
3 j7 E" x* h; }) [5 m  @, y    (2)、真空应用设备~在真空环境下(低于一个大气压的气体状态),应用的各种设备。- E( G* k+ z4 X8 M4 j3 }
    A、真空镀膜机:蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、离子镀膜机和等离子化学沉积装置等。- l1 @4 M$ L: v% f
    B、真空冶炼炉:电阻炉、电子束炉、电弧炉、感应炉和单晶炉等。9 a1 S9 `+ k2 m) \$ l7 V
    C、真空热处理炉:淬火炉、回火炉、退火炉、渗碳炉、渗氮炉和渗金属炉等。
# m; k0 i3 u$ t/ p# Q6 i    D、其它真空设备:冷冻干燥设备、蒸馏设备、提纯设备、浸渍设备、果蔬保鲜设备、运输设备、空间模拟设备、包装机和钢水脱气装置等。% ]* u' J0 Q9 L& x
% P2 C8 E; D; T1 J9 U0 p5 G, Y
    (3)、真空测量仪器一测量低于一个大气压的气体和蒸气压力的仪器。
0 q  \) \: q+ k    A、低真空计(测量范围105---102Pa)。
2 ~5 R" t( z0 L7 U( M/ V# d# F    B、中真空计(测量范围l02一l0-1Pa)。
! y4 V8 W; t+ |1 }; h    C、高真空计(测量范围l0-1一10-5Pa)。
" G; W: Z+ j% W# |    D、超高真空计(测量范围< 10-5Pa)。
0 ^( {: b2 N' G- y+ T: ?$ N* x6 r3 u, x( a- z
    (4)、真空检漏仪一检测真空系统或元件漏孔的位置或漏率的仪器。包括高频火花检漏仪、卤素检漏仪和氦质谱检漏仪等。  s' v. V- Z9 O  Y+ R' j& X

' ^$ \2 C9 Y6 d8 v0 S% g(5)、真空阀门一在真空系统中,用于调节流量、切断或接通管路的元件。包括插板阀、挡板阀、蝶阀、电磁阀、电磁带放气阀、压差阀、球阀、隔膜阀和调节阀等。
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