光谱仪测试曲线发生该变，请教大家

嘻嘻嘻123 · 发表于 2012-12-15 02:27:25

最近我的一个膜系不稳定，要求在420nm的反射率是在1.5以下，最近发生改变跳到4.0以上了
我们用的sio2和TI3O5，请问大师们，这是怎么一回事啊

bomoaa · 发表于 2012-12-16 06:11:50

你们用什么监控膜厚？是不是工艺参数变了？还是测试原因？

27676995 · 发表于 2013-11-8 17:04:15

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