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光学薄膜论坛» › 薄膜软件 › TFCALC专区 › 金属膜针孔，印子的原因
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楼主: 强者风范lq

[求助] 金属膜针孔，印子的原因

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发表于 2013-3-1 15:59:21 | 显示全部楼层
针孔是以为你的膜层苏松，印子是以为基片不干净。
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发表于 2013-5-9 09:03:47 | 显示全部楼层
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发表于 2013-5-9 09:04:07 | 显示全部楼层
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发表于 2013-8-6 18:28:57 | 显示全部楼层
针孔可能和镀膜腔体洁净度有关，也可能和靶材状况有关。7 N' a6 E2 M: V0 Q7 K- x
印子，可能与基底表面洁净度、镀膜环境有关。
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发表于 2013-12-6 11:55:32 | 显示全部楼层
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发表于 2013-12-7 02:41:59 | 显示全部楼层
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