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[求助] 最大流量300sccm的MFC可控制的最小流量是多少？

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积分: 458

发表于 2012-6-26 07:56:46 | 显示全部楼层 |阅读模式

请高手解答，谢谢。

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积分: 404

发表于 2012-9-5 01:34:58 | 显示全部楼层

按照4%的比例计算，最小控制应该是12sccm

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