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光学薄膜论坛» › 薄膜工艺 › 薄膜工艺 › 最大流量300sccm的MFC可控制的最小流量是多少？
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查看: 810|回复: 1

[求助] 最大流量300sccm的MFC可控制的最小流量是多少？

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发表于 2012-6-26 15:56:46 | 显示全部楼层 |阅读模式
请高手解答，谢谢。
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发表于 2012-9-5 09:34:58 | 显示全部楼层
按照4%的比例计算，最小控制应该是12sccm
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