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光学薄膜论坛» › 薄膜工艺 › 薄膜工艺 › 如何检验氩气的纯度
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查看: 752|回复: 1

[求助] 如何检验氩气的纯度

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发表于 2012-6-20 10:51:22 | 显示全部楼层 |阅读模式
我用于溅射的Ar怀疑纯度不够，该如何检验其纯度？谢谢
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发表于 2012-6-20 20:55:49 | 显示全部楼层
可用xps分析薄膜元素含量看看
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