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[求助] 如何检验氩气的纯度

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发表于 2012-6-20 02:51:22 | 显示全部楼层 |阅读模式
我用于溅射的Ar怀疑纯度不够,该如何检验其纯度?谢谢
发表于 2012-6-20 12:55:49 | 显示全部楼层
可用xps分析薄膜元素含量看看
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